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公开(公告)号：CN107237752A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710586825.X
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1)，泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4)，控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN103633776B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310241596.X
申请日：2013-06-18
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F04B17/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2230/605 , F04C2240/40 , F04C2270/12 , F04C2280/04 , H02K7/04 , H02K7/14
摘要： 本发明提供一种真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵，该电机为与真空泵（20）的泵主轴（21）直接连接的真空泵用的电机（100），其包括：电机转子（120），该电机转子（120）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21）；以及平衡环（127），该平衡环（127）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21），该平衡环（127）安装在从转子铁心（123）的两端部离开的该转子铁心（123）两侧，所述平衡环（127）包含具有耐腐蚀性的材料。上述电机不会产生旋转不平衡。
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公开(公告)号：CN107237752B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201710586825.X
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1)，泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4)，控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN103595165B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201310360446.0
申请日：2013-08-15
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F04D29/08 , F04C15/008 , F04C29/0085 , H02K5/12 , H02K5/225
摘要： 本发明公开一种密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵。具体地，为了提供用于真空泵马达的以确保方式保持真空泵马达的密封性能的密封结构，提供了一种用于真空泵马达(100)的密封结构，包括导线(151a)，其穿过形成在待连接到马达定子(110)的马达框架(140)中的开口部分(143)和密封开口部分(143)的密封构件(145)，其中，导线(151a)包括芯线部分(154a)和覆盖所述芯线部分(154a)的覆盖部分(155a)，并且密封部分(153a)形成在芯线部分(154a)的至少一部分中。
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公开(公告)号：CN103633776A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310241596.X
申请日：2013-06-18
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F04B17/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2230/605 , F04C2240/40 , F04C2270/12 , F04C2280/04 , H02K7/04 , H02K7/14
摘要： 本发明提供一种真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵，该电机为与真空泵（20）的泵主轴（21）直接连接的真空泵用的电机（100），其包括：电机转子（120），该电机转子（120）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21）；以及平衡环（127），该平衡环（127）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21），该平衡环（127）安装在从转子铁心（123）的两端部离开的该转子铁心（123）两侧，所述平衡环（127）包含具有耐腐蚀性的材料。上述电机不会产生旋转不平衡。
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公开(公告)号：CN103711697A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310460434.5
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN103711697B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201310460434.5
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN104009563A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201310245065.8
申请日：2013-06-19
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： H02K1/27 , F04D13/0606 , H02K1/276 , H02K15/03
摘要： 本发明提供一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵。该电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，该电机包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。根据本发明，使永磁铁不发生腐蚀。
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公开(公告)号：CN103595165A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310360446.0
申请日：2013-08-15
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F04D29/08 , F04C15/008 , F04C29/0085 , H02K5/12 , H02K5/225
摘要： 本发明公开一种密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵。具体地，为了提供用于真空泵马达的以确保方式保持真空泵马达的密封性能的密封结构，提供了一种用于真空泵马达(100)的密封结构，包括导线(151a)，其穿过形成在待连接到马达定子(110)的马达框架(140)中的开口部分(143)和密封开口部分(143)的密封构件(145)，其中，导线(151a)包括芯线部分(154a)和覆盖所述芯线部分(154a)的覆盖部分(155a)，并且密封部分(153)形成在芯线部分(154a)的至少一部分中。
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