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公开(公告)号：CN114151343B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111445710.1
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： G05B19/042 , F04C28/28
摘要： 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号：CN110985884A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201910921810.3
申请日：2019-09-27
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。
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公开(公告)号：CN103711697A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310460434.5
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN114109799B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
摘要： 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN110050125B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880004933.4
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： F04B51/00 , G05B19/418
摘要： 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN104632599B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201410645097.1
申请日：2014-11-12
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 岩崎弘一
IPC分类号： F04B49/06
摘要： 本发明提供一种能够减少由错误的发生导致的运转停止的频率的真空泵及其运转方法。真空泵具有：对气体进行排气的泵组件(1)；驱动泵组件(1)的马达(2)；向马达(2)提供频率可变的交流电的逆变器装置(5)；和控制逆变器装置(5)的控制装置(7)。在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，逆变器装置(5)停止自身的运转，如果错误的发生满足规定的条件，则控制装置(7)使逆变器装置(5)重启。
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公开(公告)号：CN104632599A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410645097.1
申请日：2014-11-12
申请人： 株式会社荏原制作所
发明人： 岩崎弘一
IPC分类号： F04B49/06
摘要： 本发明提供一种能够减少由错误的发生导致的运转停止的频率的真空泵及其运转方法。真空泵具有：对气体进行排气的泵组件(1)；驱动泵组件(1)的马达(2)；向马达(2)提供频率可变的交流电的逆变器装置(5)；和控制逆变器装置(5)的控制装置(7)。在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，逆变器装置(5)停止自身的运转，如果错误的发生满足规定的条件，则控制装置(7)使逆变器装置(5)重启。
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公开(公告)号：CN114109799A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
摘要： 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN103711697B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201310460434.5
申请日：2013-09-30
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
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公开(公告)号：CN114109832A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111445458.4
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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