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公开(公告)号：CN110010521A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201811515896.1
申请日：2018-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质，其课题为提高基板的定位。一种用于处理基板的基板处理装置，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测上述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于上述规定位置的上述基板而在与上述图像传感器相反的一侧，能够配置为对上述基板的上述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由上述图像传感器检测出的上述两个角部的位置来判定上述基板的位置，上述控制装置构成为能够变更上述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者。
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公开(公告)号：CN110010521B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201811515896.1
申请日：2018-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质，其课题为提高基板的定位。一种用于处理基板的基板处理装置，具备：图像传感器，其在基板被输送到规定位置时，检测上述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，其相对于位于上述规定位置的上述基板而在与上述图像传感器相反的一侧，能够配置为对上述基板的上述两个角部进行照射；以及控制装置，其基于由上述图像传感器检测出的上述两个角部的位置来判定上述基板的位置，上述控制装置构成为能够变更上述照明装置的输出光的光量及波长中的至少一者。
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公开(公告)号：CN113279040A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110189050.9
申请日：2021-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。
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公开(公告)号：CN108666252A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201710725706.8
申请日：2017-08-22
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/67 , C25D17/00
CPC classification number: H01L21/681 , C25D17/00 , C25D17/001 , C25D17/06 , C25D21/12 , G01B11/002 , H01L21/67763 , H01L21/67242 , H01L21/68
Abstract: 一种基板处理装置，用于对基板进行处理，具备：图像传感器，在基板被搬运到规定位置时，该图像传感器检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，该照明装置能够配置为：相对于处在所述规定位置的所述基板在所述图像传感器的相反侧，对所述基板的所述两个角部进行照射；控制装置，该控制装置基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119278298A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202380040489.2
申请日：2023-12-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 对马拓也
Abstract: 本发明提供镀覆液供给装置以及维护方法，能够尽可能防止粉体的飞散并进行维护。用于供给使用于镀覆的镀覆液的镀覆液供给装置具备：料斗框体，其收容料斗，并且在使送料器的一部分向外部突出的状态下收容上述送料器，该料斗框体能够将状态变更为上述送料器的上述一部分收容在箱框体内的连接状态、和上述送料器的上述一部分位于上述箱框体外的分离状态；和覆盖部件，其安装于上述料斗框体，能够将状态变更为收容上述送料器的上述一部分的覆盖状态、和使上述送料器的上述一部分露出的露出状态。
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公开(公告)号：CN113279040B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202110189050.9
申请日：2021-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。
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公开(公告)号：CN113257709A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202011482878.5
申请日：2020-12-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种使基板确实地干燥的基板干燥装置。其中一实施例为基板干燥装置。此基板干燥装置包括：握持部，握持角型基板的外周部；基板用喷嘴，对由握持部所握持的基板喷附气体而使基板干燥；以及握持部用喷嘴，对握持部喷附气体而使基板干燥。基板用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且能够朝向基板而向第一方向喷出气体。握持部用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且向与第一方向相交的第二方向喷出气体。握持部用喷嘴相对于第一方向而配设于基板用喷嘴的后方。
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公开(公告)号：CN119278298B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202380040489.2
申请日：2023-12-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 对马拓也
Abstract: 本发明提供镀覆液供给装置以及维护方法，能够尽可能防止粉体的飞散并进行维护。用于供给使用于镀覆的镀覆液的镀覆液供给装置具备：料斗框体，其收容料斗，并且在使送料器的一部分向外部突出的状态下收容上述送料器，该料斗框体能够将状态变更为上述送料器的上述一部分收容在箱框体内的连接状态、和上述送料器的上述一部分位于上述箱框体外的分离状态；和覆盖部件，其安装于上述料斗框体，能够将状态变更为收容上述送料器的上述一部分的覆盖状态、和使上述送料器的上述一部分露出的露出状态。
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公开(公告)号：CN108666252B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201710725706.8
申请日：2017-08-22
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/67 , C25D17/00
Abstract: 一种基板处理装置，用于对基板进行处理，具备：图像传感器，在基板被搬运到规定位置时，该图像传感器检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，该照明装置能够配置为：相对于处在所述规定位置的所述基板在所述图像传感器的相反侧，对所述基板的所述两个角部进行照射；控制装置，该控制装置基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置。
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