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公开(公告)号:CN102466983A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110346598.6
申请日:2011-11-04
申请人: 株式会社阿迪泰克工程
CPC分类号: G03F9/00 , G03F9/7046 , G03F9/7069 , H05K3/0008 , H05K2201/09918
摘要: 本发明涉及用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置。在CCD摄像机(3)周围对标记进行照明的环形照明装置(1)具有:照明装置(1)、照明亮度控制装置(10)、照明高度控制装置(11)、照明颜色控制装置(12)以及控制上述这些装置的控制器(5),所述照明装置1在照明高度和照明颜色的组合为K=1到M,且将照明亮度以1%为一步,从1%变为100%的情况下,通过CCD摄像机(3)对标记进行检测,并且由对比度检测/确定装置(23)对标记对比度进行检测以及由变换检测/确定装置(24)对变化进行检测,随后基于所述变化确定最佳照明条件。
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公开(公告)号:CN102466983B
公开(公告)日:2015-02-18
申请号:CN201110346598.6
申请日:2011-11-04
申请人: 株式会社阿迪泰克工程
CPC分类号: G03F9/00 , G03F9/7046 , G03F9/7069 , H05K3/0008 , H05K2201/09918
摘要: 本发明涉及用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置。在CCD摄像机(3)周围对标记进行照明的环形照明装置(1)具有:照明装置(1)、照明亮度控制装置(10)、照明高度控制装置(11)、照明颜色控制装置(12)以及控制上述这些装置的控制器(5),所述照明装置1在照明高度和照明颜色的组合为K=1到M,且将照明亮度以1%为一步,从1%变为100%的情况下,通过CCD摄像机(3)对标记进行检测,并且由对比度检测/确定装置(23)对标记对比度进行检测以及由变换检测/确定装置(24)对变化进行检测,随后基于所述变化确定最佳照明条件。
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