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公开(公告)号:CN101842409A
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN200880113618.1
申请日:2008-10-28
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C08G59/68
CPC分类号: C08G59/687 , B33Y70/00 , C08L63/00 , G03F7/0045 , G03F7/029
摘要: 本发明提供一种酸产生能高、灵敏度高且不会着色的盐化合物、阳离子聚合引发剂及阳离子聚合性组合物。所述盐化合物由下述通式(1)表示(式中,R01~R05各自独立地为选自氢原子、氟原子及-YR基的基团,R01~R05中的1个为-YR基,至少2个为氟原子,Y表示氧原子或硫原子,R表示碳原子数1~4的烷基,Ctp+表示p价阳离子,p为1或2,n表示保持电价为中性的系数)。
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公开(公告)号:CN104822662A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201380062293.X
申请日:2013-11-27
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C07D221/14 , C09K3/00 , G03F7/004
CPC分类号: C07D221/14 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0385 , G03F7/004
摘要: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且具有良好的产酸率的化合物、使用其的光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物,其特征在于,其用下述通式(I)表示。(式(I)中,X表示碳数1~12的直链或支链烷基,R为碳数1~18的脂肪族烃基等。)。
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公开(公告)号:CN102712599B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201180006118.X
申请日:2011-01-12
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C07D221/14 , C07D311/92 , C07D405/12 , G03F7/004
CPC分类号: C07D221/14 , C07D311/92 , C07D405/12 , C09B57/08 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0397
摘要: 本发明提供一种对有机溶剂的溶解性高、感光性良好且适用于光产酸剂和聚合引发剂的新型磺酸衍生物化合物和新型萘二甲酸衍生物化合物。所述磺酸衍生物化合物由下述通式(I)表示。(式中,R01、R04、R05和R06表示氢原子,R02、R03中的任一个表示任选被脂环式烃基、杂环基或卤素原子取代且任选具有支链的碳原子数4~18的烷氧基等,R07表示任选被卤素原子和/或烷硫基取代的碳原子数1~18的脂肪族烃基等。)。
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公开(公告)号:CN102712599A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201180006118.X
申请日:2011-01-12
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C07D221/14 , C07D311/92 , C07D405/12 , G03F7/004
CPC分类号: C07D221/14 , C07D311/92 , C07D405/12 , C09B57/08 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0397
摘要: 本发明提供一种对有机溶剂的溶解性高、感光性良好且适用于光产酸剂和聚合引发剂的新型磺酸衍生物化合物和新型萘二甲酸衍生物化合物。所述磺酸衍生物化合物由下述通式(I)表示。(式中,R01、R04、R05和R06表示氢原子,R02、R03中的任一个表示任选被脂环式烃基、杂环基或卤素原子取代且任选具有支链的碳原子数4~18的烷氧基等,R07表示任选被卤素原子和/或烷硫基取代的碳原子数1~18的脂肪族烃基等。)。
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公开(公告)号:CN104822662B
公开(公告)日:2018-04-03
申请号:CN201380062293.X
申请日:2013-11-27
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C07D221/14 , C09K3/00 , G03F7/004
CPC分类号: C07D221/14 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0385
摘要: 本发明提供对365nm波长的光的吸收大且具有良好的产酸率的化合物、使用其的光产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物,其特征在于,其用下述通式(I)表示。(式(I)中,X表示碳数1~12的直链或支链烷基,R为碳数1~18的脂肪族烃基等。)
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公开(公告)号:CN101842409B
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN200880113618.1
申请日:2008-10-28
申请人: 株式会社ADEKA
IPC分类号: C07C43/225
CPC分类号: C08G59/687 , B33Y70/00 , C08L63/00 , G03F7/0045 , G03F7/029
摘要: 本发明提供一种酸产生能高、灵敏度高且不会着色的盐化合物、阳离子聚合引发剂及阳离子聚合性组合物。所述盐化合物由下述通式(1)表示(式中,R01~R05各自独立地为选自氢原子、氟原子及-YR基的基团,R01~R05中的1个为-YR基,至少2个为氟原子,Y表示氧原子或硫原子,R表示碳原子数1~4的烷基,Ctp+表示p价阳离子,p为1或2,n表示保持电价为中性的系数)。
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