公开(公告)号：CN1257437C

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：CN03156857.2

申请日：2003-09-10

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 森田亮 ,  中沢朗

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G03B27/18 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70741

Abstract: 一种曝光设备，其包括：设置在加载/卸载位置与曝光位置之间处于不同高度的第一传送通道和第二传送通道；第一和第二工作台，其中之一设置在所述的加载/卸载位置，而另一个设置在所述的曝光位置；升降机构，其将所述第一和第二工作台的其中之一提升至所述的第一传送通道，并将所述第二和第一工作台中的另一个下降至所述的第二传送通道；和传送机构，其分别将所述的第一和第二工作台传送至所述的加载/卸载位置和曝光位置。所述的第一和第二工作台中的每一都具有其上设置有工件的载物台板和事先安装有掩模的透光板。

公开(公告)号：CN1493925A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03156857.2

申请日：2003-09-10

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 森田亮 ,  中沢朗

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G03B27/18 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70741

Abstract: 一种曝光设备，其包括：设置在加载/卸载位置与曝光位置之间处于不同高度的第一传送通道和第二传送通道；第一和第二工作台，其中之一设置在所述的加载/卸载位置，而另一个设置在所述的曝光位置；升降机构，其将所述第一和第二工作台的其中之一提升至所述的第一传送通道，并将所述第二和第一工作台中的另一个下降至所述的第二传送通道；和传送机构，其分别将所述的第一和第二工作台传送至所述的加载/卸载位置和曝光位置。所述的第一和第二工作台中的每一都具有其上设置有工件的载物台板和事先安装有掩模的透光板。