一种垂直腔面激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN106654856A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201710113863.3

    申请日:2017-02-28

    IPC分类号: H01S5/183

    CPC分类号: H01S5/18313

    摘要: 本发明涉及激光器技术领域,提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8;其中,所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅;所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入,实现有源区电流的各向异性注入,有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题,如空间烧孔现象等,同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题,实现在颈向的自聚偏振光输出。

    一种垂直腔面激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN106654856B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201710113863.3

    申请日:2017-02-28

    IPC分类号: H01S5/183

    摘要: 本发明涉及激光器技术领域,提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8;其中,所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅;所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入,实现有源区电流的各向异性注入,有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题,如空间烧孔现象等,同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题,实现在颈向的自聚偏振光输出。

    一种基于VCSEL的发光点阵
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216750642U

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202220308075.6

    申请日:2022-02-15

    IPC分类号: H01S5/42 G01S17/894 G01S7/48

    摘要: 本实用新型涉及信号探测领域,尤其涉及一种基于VCSEL的发光点阵,其主要包括VCSEL发光基板以及设置在VCSEL发光基板上的若干个发光点,其中,所述发光点包括至少两种不同的电流阈值、至少两种不同的发光功率以及至少两种不同的发光面积。本实用新型打破常规方案中VCSEL均匀性和一致性的超高要求,使VCSEL的制作更简化,还打破了常规方案中仅仅依靠结构光或者TOF的特征方式来识别的方式,增加了更多的可利用的识别元素,使得图案探测的方式更加多元化,信息度更高,识别更简易。

    一种激光雷达探测系统
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214540029U

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202120769012.6

    申请日:2021-04-14

    IPC分类号: G01S17/02 G01S17/89 G01S7/481

    摘要: 本实用新型涉及激光雷达技术领域,尤其涉及一种激光雷达探测系统,包括主动探测系统以及被动探测系统,具体的,主动探测系统包括带主动探测光源的激光探测装置;被动探测系统包括双色或者多色成像探测器、与双色或者多色成像探测器相对应的被动信号接收端、与激光探测装置相对应的主动信号接收端、与被动信号接收端及主动信号接收端相连的读出电路结构;主动探测系统与被动探测系统相结合形成激光雷达探测系统。本实用新型既保证了高效的性能,还极大的提升了系统的集成度,同时也给未来雷达系统封装精简化提供了可能。