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公开(公告)号：CN118719686A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410721569.0
申请日：2024-06-05
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提出了一种基于微纳气泡瞬态空化和稳态空化的晶圆清洗装置及方法，包括：清洗槽；微纳气泡发生装置器包括微纳气泡发生装置、微纳气泡发生装置出气管、微纳气泡发生装置进液管，微纳气泡发生装置用于产生微纳气泡，其主体设置在清洗槽下方，微纳气泡发生装置出气管连接微纳气泡发生装置和清洗槽，其设置在晶圆下面，微纳气泡发生装置进液管设置在清洗槽底部；超声波发射装置设置在清洗槽侧面用于发射超声波，对晶圆之间的微纳气泡进行超声激励，其微纳气泡产生稳态空化或瞬态空化，产生微射流对晶圆起到清洗作用；控制系统设置在清洗槽下面，控制整个清洗过程。本发明的清洗装置与方法显著提升了晶圆清洗过程的准确性与可靠性。
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公开(公告)号：CN115026315A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210230177.5
申请日：2022-03-10
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明涉及一种基于超速激光成像的熔覆增减材加工在线检测装置，是由装置控制系统、熔覆增材制造机器人、平移工作台、超速激光成像系统、旋转工作台、三维成像扫描仪和增材制造基体组成的；本发明可以实现熔覆激光增材制造过程中对加工表面进行的实时在线检测，与其他现有增材制造在线检测相比，采用超快激光成像系统进行实时在线检测，帧数率可以高达Gfps，空间分辨率可达780nm，可实现实时连续成像，具有更高的接受灵敏度和对光束未对准的更高鲁棒性，提供了更好的灵敏度和成像质量，可以实现增材制造后结构模型的三维模型重构，可以实现对结构原设计模型的对比，形成准确的加工对比数据。
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公开(公告)号：CN114245684A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111598287.9
申请日：2021-12-24
申请人： 武汉大学
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本申请涉及一种散热装置、散热系统，涉及散热装置技术领域，包括受热盘，该受热盘两侧分别设有第一受热腔体和第二受热腔体，第一受热腔体和第二受热腔体均利用冷却液对受热盘进行冷却；所述第一受热腔体内设有多个开口朝向所述受热盘的微喷喷嘴，用于向受热盘喷洒所述冷却液；所述第二受热腔体内设有多个与所述受热盘接触的换热管道，用于流通所述冷却液。本申请的两个受热腔体分别采用不同的散热结构，能够有效提高散热装置的适用范围和散热效果。
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公开(公告)号：CN114245684B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202111598287.9
申请日：2021-12-24
申请人： 武汉大学
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本申请涉及一种散热装置、散热系统，涉及散热装置技术领域，包括受热盘，该受热盘两侧分别设有第一受热腔体和第二受热腔体，第一受热腔体和第二受热腔体均利用冷却液对受热盘进行冷却；所述第一受热腔体内设有多个开口朝向所述受热盘的微喷喷嘴，用于向受热盘喷洒所述冷却液；所述第二受热腔体内设有多个与所述受热盘接触的换热管道，用于流通所述冷却液。本申请的两个受热腔体分别采用不同的散热结构，能够有效提高散热装置的适用范围和散热效果。
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公开(公告)号：CN117286452B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311195590.3
申请日：2023-09-14
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提出了一种基于离子束溅射沉积及整形的薄膜制备装置及制备方法，该制备装置包括：真空腔室；第一工作台，用于装载工件，其设置于真空腔室上部，第一工作台的下表面与水平面平行；第二工作台，用于装载靶材，其位于第一工作台下方；脉冲离子源，其位于第二工作台水平方向一侧，用于发射离子束到靶材表面进行溅射沉积，或用于发射离子束对工件表面沉积的薄膜进行整形；驱动装置，设置于真空腔室中，用于改变脉冲离子源发射离子束的方向，以使离子束在靶材表面及工件表面切换。本发明公开的制备装置，仅用一个脉冲离子源即可实现工件表面薄膜溅射沉积及整形作业，其具有结构简单、易于制造、成本低的优点，适合于大规模生产和推广。
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公开(公告)号：CN117300169A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311168467.2
申请日：2023-09-08
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明涉及一种多材料预粘结激光3D打印装置及成形方法，上述打印装置包括加工仓组件、储粉仓组件、储胶仓组件、出料组件、混粉仓组件、压实组件以及激光组件。利用上述装置打印的方法为：1)将零件的三维结构进行切片处理，获得多个切片层和每层切片中零件的内部轮廓和外部轮廓信息及材质；2)由下往上依据每层切片中零件的材质储胶仓组件及对应分仓体放料，混粉仓组件混料后保温释放于基板上；3)压实组件压实物料，以避免因温度梯度导致切片层产生缺陷；4)基板下移对应距离；5)重复2)‑4)进行逐层打印至打印完毕。本发明中对打印物料进行预粘结后再进行打印，以减少飞溅和铺粉层被破坏产生的质量问题。
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公开(公告)号：CN117286452A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311195590.3
申请日：2023-09-14
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明提出了一种基于离子束溅射沉积及整形的薄膜制备装置及制备方法，该制备装置包括：真空腔室；第一工作台，用于装载工件，其设置于真空腔室上部，第一工作台的下表面与水平面平行；第二工作台，用于装载靶材，其位于第一工作台下方；脉冲离子源，其位于第二工作台水平方向一侧，用于发射离子束到靶材表面进行溅射沉积，或用于发射离子束对工件表面沉积的薄膜进行整形；驱动装置，设置于真空腔室中，用于改变脉冲离子源发射离子束的方向，以使离子束在靶材表面及工件表面切换。本发明公开的制备装置，仅用一个脉冲离子源即可实现工件表面薄膜溅射沉积及整形作业，其具有结构简单、易于制造、成本低的优点，适合于大规模生产和推广。
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公开(公告)号：CN115026315B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202210230177.5
申请日：2022-03-10
申请人： 武汉大学
摘要： 本发明涉及一种基于超速激光成像的熔覆增减材加工在线检测装置，是由装置控制系统、熔覆增材制造机器人、平移工作台、超速激光成像系统、旋转工作台、三维成像扫描仪和增材制造基体组成的；本发明可以实现熔覆激光增材制造过程中对加工表面进行的实时在线检测，与其他现有增材制造在线检测相比，采用超快激光成像系统进行实时在线检测，帧数率可以高达Gfps，空间分辨率可达780nm，可实现实时连续成像，具有更高的接受灵敏度和对光束未对准的更高鲁棒性，提供了更好的灵敏度和成像质量，可以实现增材制造后结构模型的三维模型重构，可以实现对结构原设计模型的对比，形成准确的加工对比数据。
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