公开(公告)号：CN221766717U

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202420012466.2

申请日：2024-01-03

申请人： 江苏启微半导体设备有限公司 ,  至微半导体(上海)有限公司

发明人： 崔佳伟 ,  刘大威 ,  屠国强 ,  徐铭

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683

摘要： 本实用新型公开一种晶圆干燥冷却装置，其中，包括晶圆槽体，以及设置于所述晶圆槽体内的多个加热灯管及晶圆载具；所述加热灯管设置于所述晶圆载具的侧面；所述晶圆载具内部中空并承载有流动的冷却介质。本实用新型中将晶圆载具设置为内部中空，且流动有冷却介质，因此在对晶圆进行干燥处理时，晶圆载具内部的冷却介质会保证晶圆载具的温度在安全范围内，不会因温度影响晶圆载具的正常工作状态。

公开(公告)号：CN118073245A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410395784.6

申请日：2024-04-02

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 ,  江苏启微半导体设备有限公司

发明人： 刘志鹏 ,  马玉蓉 ,  崔佳伟 ,  施钦天 ,  杨鑫 ,  蒋渊

IPC分类号： H01L21/67 ,  F26B5/00 ,  F26B21/14

摘要： 本发明公开一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法，其中，喷气装置包括喷气管，喷气管包括内管及外管，外管套设于内管的外部，内管与外管设置于同一轴线上；于内管的外壁和外管的内壁之间设置有缓冲区；内管上设置有多个用于排气的第一喷气口；外管上设置有多个与第一喷气口匹配的第二喷气口；喷气管内的气体依次通过第一喷气口、缓冲区及第二喷气口后喷出。本发明通过双管路的设计形成缓冲区，以降低气体到达喷气口的流速差，从而平稳喷气口的气体流态，使得IPA气体均匀分布，形成厚度一致的IPA膜，达到更好的干燥效果。