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公开(公告)号：CN109029828B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201810581229.7
申请日：2018-06-07
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明公开了一种电容式差压传感器及其输出特性计算方法与制作方法。应用理想气体状态方程和板壳理论建立了传感器静态及动态输出特性的计算方法，特别提出了一种真空高温退火加工感压膜的方法。本发明的一种新型的实时动态压力检测的差压传感器，传感器加工方法简单，具有较高的气体压力检测分辨率，无需复杂的SOI(Silicon‑On‑Insulator,绝缘衬底上的硅)或复杂的在硅片上刻蚀腔体和感压膜的方法，就可以通过将刻蚀的特定结构的沟槽高温真空退火，一步形成有圆孔的感压膜和腔体。
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公开(公告)号：CN109141728A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810788069.3
申请日：2018-07-18
Applicant: 江苏大学
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0072
Abstract: 本发明提供一种感压膜中间固定式电容压力传感器及制作方法，涉及到MEMS领域。该压力传感器由基底100、感压膜102、真空腔101、电极201和电极203构成，其中基底、真空腔和感压膜为一个整体。当感压膜受到压力时会产生变形，使感压膜102与电极板202之间的距离发生改变，导致二者之间的电容发生变化，通过电极201和电极203检测电容。本发明的基底100、感压膜102、真空腔由紫外光刻、干法刻蚀和真空高温退火工艺一次形成，无需真空密封工艺，提高稳定性、可靠性；本发明的感压膜由中间固定支柱固定在基底上，可在很大的压力范围内均具有很好的线性度，扩大传感器的使用量程。
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公开(公告)号：CN109879238A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910035090.0
申请日：2019-01-15
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明公开了内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法，属于MEMS领域。本发明中的内嵌通道式微悬臂梁与传统的微悬臂梁有所不同，是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内。此种微悬臂梁是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。
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公开(公告)号：CN109029828A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810581229.7
申请日：2018-06-07
Applicant: 江苏大学
CPC classification number: G01L9/12 , G06F17/5018
Abstract: 本发明公开了一种电容式差压传感器及其输出特性计算方法与制作方法。应用理想气体状态方程和板壳理论建立了传感器静态及动态输出特性的计算方法，特别提出了一种真空高温退火加工感压膜的方法。本发明的一种新型的实时动态压力检测的差压传感器，传感器加工方法简单，具有较高的气体压力检测分辨率，无需复杂的SOI(Silicon‑On‑Insulator,绝缘衬底上的硅)或复杂的在硅片上刻蚀腔体和感压膜的方法，就可以通过将刻蚀的特定结构的沟槽高温真空退火，一步形成有圆孔的感压膜和腔体。
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