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公开(公告)号:CN116943926A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202210417112.1
申请日:2022-04-20
申请人: 江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要: 本申请公开了一种扫描喷嘴的供液清洗系统及扫描喷嘴的供液清洗方法,供液清洗系统包括机械臂、储液槽和排液槽;机械臂驱动扫描喷嘴在储液槽上方移动;储液槽的储液槽本体设有扫描液腔、清洗液腔、扫描液溢流腔、清洗液溢流腔等储液腔,各储液腔下端设有出液口并连有出液阀,还设有注液口并连有注液阀,扫描液腔设有洗涤液注入口并连有洗涤液注入阀;排液槽紧邻布置在储液槽下方,以容纳自出液口排出的液体。本申请快速高效地实现了扫描喷嘴的扫描液吸取和清洗,另外还能实现扫描液和清洗液的溢流、排放、更换和自动补液,储液槽洗涤等功能。而且,储液腔的液位、注液速度、出液速度可控,污染风险低,排液顺畅,液体不易残留。