公开(公告)号：CN102304764A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201110277996.7

申请日：2011-09-19

申请人： 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司

发明人： 汪军 ,  曾世铭 ,  张景林 ,  陈果 ,  涂承亮

IPC分类号： C30B33/02 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 一种单晶硅片降低电阻值的处理方法，包括步骤如下选料，选择厚度为200±20μm，中心电阻率3-6Ω.cm，棱线边缘电阻率1-3Ω.cm，采用直拉式单晶炉制备的P型太阳能级单晶硅片；装料，硅片承载架底层放置2片平整的单晶硅片，然后放置10-50片待处理单晶硅片，在其上面放置2片平整的单晶硅片，然后用抓钳推进电阻炉内平放；热处理，热处理温度设置为500-600℃，加热退火时间为15-20min；空气冷却，电阻率超标的单晶硅片，在500-600℃温度场中，放置15-20min后，用抓钳取出放置在室温自然环境中空气冷却；测试比较，单晶硅片冷却至室温，表面洁净后用hennecke硅片分选机进行测试，电阻率回到0.5-3Ω·cm时，证明退火成功。可有效降低硅片的电阻率，具有工艺简单、效果好的特点，且节能、成本低。

公开(公告)号：CN203401616U

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201320420350.4

申请日：2013-07-16

申请人： 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司

发明人： 谢勇波 ,  汪军 ,  尚鹏飞 ,  张文 ,  黄志强

IPC分类号： B28D5/04 ,  B28D7/00

摘要： 一种降低晶体硅片崩边的装置，包括硅块、晶托，所述硅块下表面与切割线网长垂直的方向平行的粘接两根导向条，所述硅块上表面设有玻璃板，玻璃板上表面设有金属垫条，金属垫条上设有晶托，所述晶托与金属垫条之间靠往放线轮一侧设有金属垫片。解决了多晶硅片切片倒角崩边异常的问题。具有结构简单、效果好的特点，提高了硅片成品率。

公开(公告)号：CN202192524U

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201120281832.7

申请日：2011-08-04

申请人： 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司

发明人： 张景林 ,  汪军 ,  刘菲菲

IPC分类号： B24B19/22 ,  H01L21/68

摘要： 一种单晶粘棒校正装置，包括晶棒，晶棒连接在转动装置晶托上，转动装置设有底盘，所述的底盘一侧设有测量支架，测量支架上端设有卡尺，卡尺前端设有探针，探针与晶棒圆柱面接触。从而解决了单晶粘棒偏移的问题。具有结构简单、成本低的特点，且操作方便、快捷，提高了效率。