一种高致密性氧化铌旋转靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN103668068A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310728752.5

    申请日:2013-12-25

    IPC分类号: C23C14/08 C23C14/34

    摘要: 一种高致密性氧化铌旋转靶材的制备方法,它涉及一种以氧化铌为基料的陶瓷成型制品的制备方法。本发明是要解决传统喷涂工艺生产出的旋转靶材密度低的技术问题。本发明的制备方法按以下步骤进行:一、将氧化铌粉体进行预处理;二、采用热压烧结工艺和高温脱模工艺制得旋转靶粗品;三、对旋转靶粗品进行精加工。本发明制备旋转靶材的方法成本低、周期短、能耗低且生产效率高,本发明制得的旋转靶材密度不低于4.59g/cm3,电阻率小于9×10-3Ω.cm,导电性好,成品率高。本发明用于太阳能电池、液晶显示器、离子显示器、手机触屏、光学玻璃和气体传感器领域。

    一种高性能ZAO旋转靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN103643207A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310731271.X

    申请日:2013-12-26

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/06

    摘要: 一种高性能ZAO旋转靶材的制备方法,它涉及一种含氧化锌掺铝的陶瓷靶材成型的制备方法。本发明是要解决目前制备ZAO旋转靶材采用喷涂方法设备昂贵,制备的靶材密度低的技术问题。本发明的制备方法按以下步骤进行:一、将ZAO粉体在模具中压制成粗坯;二、采用真空热压烧结工艺制得ZAO旋转靶材。本发明的制备方法方法简便易行、效率高、耗能低,且制备过程中无需添加任何助剂;本发明制备的ZAO旋转靶材致密性好、电阻率低。本发明可用于防结雾风挡玻璃、隔热防辐射玻璃、液晶显示器、触屏玻璃和增透减反玻璃等领域。

    一种高性能氧化铌靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN103572236B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310543395.5

    申请日:2013-11-06

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本发明涉及一种高性能的氧化铌靶材,其由以下质量比原料制成:89~98.8%氧化铌粉体,0.2~1%活化剂碳粉,1~10%还原剂,所述还原剂选自铌粉或钽粉。本发明同时还提供了上述氧化铌靶材的制备方法。本发明具有以下优点:(1)制备方法效率高:靶材烧结周期短,只有10~15小时;(2)靶材性能优:密度高,可达到相对密度的99.95%以上;导电性好,电阻率3×10-3~9×10-3Ω·cm;致密性均一、无坑点。

    一种高性能氧化铌靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN103572236A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310543395.5

    申请日:2013-11-06

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本发明涉及一种高性能的氧化铌靶材,其由以下质量比原料制成:89~98.8%氧化铌粉体,0.2~1%活化剂碳粉,1~10%还原剂,所述还原剂选自铌粉或钽粉。本发明同时还提供了上述氧化铌靶材的制备方法。本发明具有以下优点:(1)制备方法效率高:靶材烧结周期短,只有10~15小时;(2)靶材性能优:密度高,可达到相对密度的99.95%以上;导电性好,电阻率3×10-3~9×10-3Ω·cm;致密性均一、无坑点。

    一种硫化钨靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN108585868B

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201810568118.2

    申请日:2018-06-05

    摘要: 一种硫化钨靶材的制备方法,属于非金属靶材的技术领域,采用真空热压烧结制备,包括以下步骤:A、硫化钨的预处理:将硫化钨与二硫化钼粉体、碳粉混合均匀,得混合物料,备用;B、真空热压烧结:将步骤A得到的混合物料装入模具中,置于烧结炉中进行烧结,控制烧结温度1300‑1550℃,烧结压力25‑38MPa,并保温保压2‑5h,烧结完成后,降温至810‑850℃,撤压,降温到150℃以下时,出炉,得到粗坯;C、精加工:将步骤B得到的粗坯经过切割、平面磨加工,得到硫化钨靶材。本发明简单、易操作,安全无污染,填补了硫化钨靶材制备的空白,且制备的硫化钨靶材密度高、稳定性好。

    一种二硫化钼靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN108640685A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810795425.4

    申请日:2018-07-19

    IPC分类号: C04B35/547

    摘要: 本发明公开了一种二硫化钼靶材的制备方法,包括以下步骤:二硫化钼粉体的预处理,得混合物料;对混合物料进行等静压成型压制成块状粗坯;将块状粗坯放入气氛烧结炉中进行煅烧,送入球磨机进行球磨粉碎,得到粒径在30μm以下的粗粉;将粗粉进行200目过筛,筛下的粉体为备用粉体;将备用粉体用等静压设备根据模具尺寸进行初压成型,粗坯厚度根据使用厚度进行压制;将粗坯装入石墨模具中,而后装入真空热压烧结炉内进行烧结;烧结完成后,降温泄压出炉,得到粗靶;最后精加工得到二硫化钼靶材。本发明制作过程简单、易操作、安全无污染,制备的二硫化钼靶材不导电,致密性和稳定性好,表面光滑,为实现二硫化钼镀膜提供了可靠保障。

    一种硫化钨靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN108585868A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810568118.2

    申请日:2018-06-05

    摘要: 一种硫化钨靶材的制备方法,属于非金属靶材的技术领域,采用真空热压烧结制备,包括以下步骤:A、硫化钨的预处理:将硫化钨与二硫化钼粉体、碳粉混合均匀,得混合物料,备用;B、真空热压烧结:将步骤A得到的混合物料装入模具中,置于烧结炉中进行烧结,控制烧结温度1300-1550℃,烧结压力25-38MPa,并保温保压2-5h,烧结完成后,降温至810-850℃,撤压,降温到150℃以下时,出炉,得到粗坯;C、精加工:将步骤B得到的粗坯经过切割、平面磨加工,得到硫化钨靶材。本发明简单、易操作,安全无污染,填补了硫化钨靶材制备的空白,且制备的硫化钨靶材密度高、稳定性好。

    陶瓷旋转靶注浆成形模具及其制作方法

    公开(公告)号:CN104589461B

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201510016239.2

    申请日:2015-01-14

    摘要: 本发明涉及一种陶瓷旋转靶注浆成形模具及其制作方法,模具包括内模(1)和外模(2),所述外模(2)中空并上方开口,所述内模(1)为T形并安装固定在外模(2)的中空位置,所述内模(1)的上边缘紧压在所述外模(2)的上边缘,所述内模(1)的外侧壁和外模(2)的内侧壁之间有空腔(3),所述外模(2)的底部设置有与空腔(3)相通的进浆孔道(4);所述内模(1)内设置有吹气孔道(5),所述外模(2)内设置有排水通道(6)等特征。本发明的作用是:本模具材料强度高,可以替代石膏材料的模具,成形出的产品密度高,密度均匀,并且生产周期短,劳动强度低。