公开(公告)号：CN118249774A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410632648.4

申请日：2024-05-21

申请人： 河源市艾佛光通科技有限公司

发明人： 李国强 ,  衣新燕 ,  支国伟

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H3/02

摘要： 本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、支撑层、底电极、三明治结构压电层和顶电极；三明治结构压电层包括多层压电薄膜和若干层极性反转缓冲层，压电薄膜和极性反转缓冲层交替设置且压电薄膜层数比极性反转缓冲层层数多一；在极性反转缓冲层的数量为多层时，相邻的极性反转缓冲层互斥；衬底顶部设有空气腔，空气腔基于贯穿支撑层、底电极、压电薄膜、极性反转缓冲层和顶电极的通孔连接顶电极外侧；该谐振器能够有效地解决由于需要通过对压电薄膜进行元素掺杂的方式使相邻的压电薄膜的极性相反而导致压电薄膜的质量下降的问题，从而有效地提高体声波谐振器的性能。

公开(公告)号：CN118249774B

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410632648.4

申请日：2024-05-21

申请人： 河源市艾佛光通科技有限公司

发明人： 李国强 ,  衣新燕 ,  支国伟

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H3/02

摘要： 本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、支撑层、底电极、三明治结构压电层和顶电极；三明治结构压电层包括多层压电薄膜和若干层极性反转缓冲层，压电薄膜和极性反转缓冲层交替设置且压电薄膜层数比极性反转缓冲层层数多一；在极性反转缓冲层的数量为多层时，相邻的极性反转缓冲层互斥；衬底顶部设有空气腔，空气腔基于贯穿支撑层、底电极、压电薄膜、极性反转缓冲层和顶电极的通孔连接顶电极外侧；该谐振器能够有效地解决由于需要通过对压电薄膜进行元素掺杂的方式使相邻的压电薄膜的极性相反而导致压电薄膜的质量下降的问题，从而有效地提高体声波谐振器的性能。