一种实现半导体晶粒行进方向上前后两端面成像检测的装置与方法

    公开(公告)号:CN114791431A

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202210382126.4

    申请日:2022-04-13

    Abstract: 本发明涉及一种实现半导体晶粒行进方向上前后两端面成像检测的装置与方法,其特征在于:在所述光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、合像棱镜、第一组转像棱镜组件、第二组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘,所述合像棱镜位于远心成像镜头的光轴上;本检测装置可实现半导体晶粒运动方向上两端面的动态检测,同时降低了对成像镜头视场大小的要求,有效控制检测装置的成本;本发明检测装置使用的第三、第四直角转像棱镜安装在玻璃载物转盘及半导体晶粒的上方,无需与半导体晶粒表面接触,且不会与玻璃载物转盘产生干涉,可实现半导体晶粒在行进方向上前、后两端面的动态检测。

    基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法

    公开(公告)号:CN112067551A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010753504.6

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本发明提供一种基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法,包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒,半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及位于半导体晶粒正上方的天面直角转向棱镜,半导体晶粒同一水平高度与半透半反射平行平板合像器正下方设置有侧面直角转向棱镜,该装置在满足双面成像完全等光程共焦的条件下,获得相邻面的空间分离成像,能通过调节平行平板补偿器与光轴的夹角来校正补偿误差,从而可以实现半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测,结构简单紧凑,装配调试容易,可靠性佳。

    实现半导体晶粒相对两表面等光程成像的光学检测装置及方法

    公开(公告)号:CN111044524A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911369257.3

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本发明实现半导体晶粒相对两表面等光程成像的光学检测装置及方法,该装置包括在垂直光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、第一组转像光学元件和半导体晶粒,所述第一组转像光学元件与半导体晶粒之间的两侧部设有第二组转像光学元件,半导体晶粒的两个侧面分别通过第一组转像光学元件、第二组转像光学元件以完全相同的成像光路成像在相机传感器面上不同的区域位置。本申请解决了相对两侧面检测不等光程成像与不等照度照明的问题,实现了半导体晶粒相对两侧面的等光程成像与等照度照明的检测。通过适当的光程补偿(如在天面成像光路中插入一块与载物台一样的透明玻璃板),也可实现晶粒底面与天面相对两面的等光程成像与等照度照明的检测。

    用于植物特征光谱测试的蓝光和红光增强型全光谱光源

    公开(公告)号:CN109632637A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811556204.8

    申请日:2018-12-19

    CPC classification number: G01N21/01 G01N21/25

    Abstract: 本发明提出用于植物特征光谱测试的蓝光和红光增强型全光谱光源,所述全光谱光源包括日光模拟光源和波段补强光源;所述日光模拟光源的输出光路以带反射镜的转接件与波段补强光源的输出光路始端相接;所述波段补强光源的输出端处设有聚光筒;所述日光模拟光源的光和波段补强光源的光混合后经聚光筒输出;本发明能提供覆盖植物光合作用的光谱区,并能输出指定波长准单色光的全光谱光源以便于测量不同植物的特征光谱。

    基于合像光学元件的晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN111157535B

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202010133044.7

    申请日:2020-03-01

    Abstract: 本发明基于合像光学元件的晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置及方法,该装置包括在垂直光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、合像光学元件和半导体晶粒,所述合像光学元件与半导体晶粒之间的两侧部设有梯形转像棱镜,半导体晶粒的两个侧面分别通过梯形转像棱镜、合像光学元件以双光路成像在相机传感器面上不同的区域位置,本发明以单一的合像光学元件取代两个独立的直角转像棱镜实现双面成像光路的合像功能,该方案装配结构简单,合像光路调试更简易方便,且双面合像精度更高。

    用于植物特征光谱测试的蓝光和红光增强型全光谱光源

    公开(公告)号:CN109632637B

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN201811556204.8

    申请日:2018-12-19

    Abstract: 本发明提出用于植物特征光谱测试的蓝光和红光增强型全光谱光源,所述全光谱光源包括日光模拟光源和波段补强光源;所述日光模拟光源的输出光路以带反射镜的转接件与波段补强光源的输出光路始端相接;所述波段补强光源的输出端处设有聚光筒;所述日光模拟光源的光和波段补强光源的光混合后经聚光筒输出;本发明能提供覆盖植物光合作用的光谱区,并能输出指定波长准单色光的全光谱光源以便于测量不同植物的特征光谱。

    一种实时监测人体健康的智能马桶及其监测方法

    公开(公告)号:CN111857004A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010737422.2

    申请日:2020-07-28

    Abstract: 本发明公开一种实时监测人体健康的智能马桶及其监测方法,摄像头采集获取如厕后的排泄物图像,接触电极设于马桶上并与人体直接接触,接触电极输出微电流过人体并由主控器探测电阻变化,心率检测组件的LED灯照射用户手部,其第一光电传感器接收手部反射光并转换成脉冲信号,主控器内置的计时器脉冲次数,血液检测组件包括激发光源、窄带滤光片和菲涅尔透镜,菲涅尔透镜出射光对准第二光电传感器,激发光源的发射光激发依次经窄带滤光片稀释的排泄物,排泄物的发射光依次经窄带滤光片和菲涅尔透镜后由第二光电传感器,第二光电传感器进行光电转换输出血液检测信号至主控器。本发明的马桶能监测健康以应对不良生活习惯对身体带来的不利影响。

    基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测的装置与方法

    公开(公告)号:CN111220627A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN202010203153.1

    申请日:2020-03-20

    Abstract: 本发明公开一种基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测的装置及方法,该装置包括在光路方向上依次设置的彩色CMOS或CCD相机、远心成像镜头、立方分束器、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明载物台,在半导体晶粒与立方分束器之间的光路上分别设有侧面直角转像棱镜和天面直角转像棱镜,侧面直角转像棱镜和天面直角转像棱镜分别位于半导体晶粒的正侧部和天面正上方,立方分束器第二面相背的第四面旁侧设有同轴外置照明光源,半导体晶粒的天面与侧面分别经直角转像棱镜、立方分束器以单光路双波长等光程共焦成像在相机传感器面上,本发明装置和方法有利于实现双面同时完全等光程共焦成像检测。

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