公开(公告)号：CN102770385A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201180012095.3

申请日：2011-02-22

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： J.哈特维希 ,  F.卡格

IPC: C03C17/00 ,  B65G49/00 ,  C23C16/54 ,  H01L31/20 ,  C23C16/50 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/56 ,  B65G49/063 ,  C23C14/50 ,  H01L31/0322 ,  Y02E10/541

Abstract: 本发明涉及一种设备，其用于在加工系统中加工基材，该加工系统具有位于至少一个加工区域中的至少一个加工工具，该加工工具具有在加工区域中的彼此相对的两个基材平面，其是至少大致垂直取向的，其中该设备被用于依靠该加工工具，来在加工区域中同时加工至少两个基材，其中该基材可以如此布置于该基材平面中，以使得该基材的涂层彼此面对面，并且至少在加工过程中，在基材之间形成了准封闭的加工空间。它进一步涉及在加工系统中加工涂覆的基材的方法，其中该基材具有涂层，并且该基材每个如此彼此相对布置，以使得所述基材的涂层彼此面对面，并且至少在加工过程中，在所述基材之间形成了准封闭的加工空间。

公开(公告)号：CN102763208A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201180010715.X

申请日：2011-02-22

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： J.帕尔姆 ,  M.菲尔方格 ,  J.哈特维希 ,  S.约斯特

IPC: H01L21/673

CPC classification number: B23Q3/00 ,  C23C16/4582 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67383 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  Y10T29/49998

Abstract: 本发明涉及一种形成减小的室空间的装置，例如加工盒或者加工罩，其具有用于定位至少两个各自具有至少一个待加工表面的多层体的装置，其中该设备如此配置：使得该多层体彼此相对，其中该待加工表面彼此背对背，以使得该多层体能够作为多层体布置在加工系统中加工。另外涉及一种定位至少两个每个具有至少一个待加工表面的多层体的方法，其中所述两个多层体布置在这样的形成减小的室空间的装置中，以使得多层体彼此相对，其中该待加工表面彼此背对背，以使得该至少两个物体能够作为多层体布置在加工系统中加工。