公开(公告)号：CN101443131B

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200580048566.0

申请日：2005-12-21

申请人： 测度有限公司

发明人： 大卫·H·喀什 ,  马丁·杰夫·萨里纳斯 ,  石川徹夜

IPC分类号： B05D5/00

CPC分类号： H01L21/67225 ,  G03B27/32 ,  G03D13/006 ,  G03F7/40 ,  G05B19/41825 ,  G05B2219/40476 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/49137 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/26 ,  Y02P90/087 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/5323

摘要： 一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。

公开(公告)号：CN101443131A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200580048566.0

申请日：2005-12-21

申请人： 测度有限公司

发明人： 大卫·H·喀什 ,  马丁·杰夫·萨里纳斯 ,  石川徹夜

IPC分类号： B05D5/00

CPC分类号： H01L21/67225 ,  G03B27/32 ,  G03D13/006 ,  G03F7/40 ,  G05B19/41825 ,  G05B2219/40476 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/49137 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/26 ,  Y02P90/087 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/5323

摘要： 一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。

公开(公告)号：CN101142656A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200580048568.X

申请日：2005-12-21

申请人： 应用材料公司 ,  测度有限公司

发明人： 石川徹夜 ,  里克·J·罗伯茨 ,  海伦·R·阿默 ,  利昂·沃弗斯盖 ,  杰伊·D·皮森 ,  迈克尔·瑞斯 ,  大卫·H·喀什 ,  莫森·S·萨利克 ,  罗伯特·劳伦斯 ,  约翰·A·贝克尔 ,  威廉·泰勒·威维尔 ,  查尔斯·卡尔森 ,  重阳·王 ,  杰弗里·哈德更斯 ,  哈拉德·赫亨 ,  布赖恩·鲁

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67225 ,  G03B27/32 ,  G03D13/006 ,  G03F7/40 ,  G05B19/41825 ,  G05B2219/40476 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/49137 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/26 ,  Y02P90/087 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/5323

摘要： 本发明的实施例大体上提供了使用多室处理系统(例如组合工具)处理衬底的装置和方法，所述多室处理系统具有更大吞吐量、更高可靠性，组合工具中处理过的衬底具有更具重复性的晶片历史，还具有较小的系统占地。在组合工具的一种实施例中，通过将衬底分组到一起并将衬底以两个或更多个为一组进行传送和处理以提高系统吞吐量，降低了拥有成本，并减少了机械手将一批衬底在处理室之间进行传送所需的运动次数，从而减小了机械手的磨损并提高了系统可靠性。这些实施例还提供了用于提高衬底传送处理的可靠性以减少系统不可用时间的方法和装置。