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公开(公告)号：CN101142656A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200580048568.X
申请日：2005-12-21
发明人： 石川徹夜 , 里克·J·罗伯茨 , 海伦·R·阿默 , 利昂·沃弗斯盖 , 杰伊·D·皮森 , 迈克尔·瑞斯 , 大卫·H·喀什 , 莫森·S·萨利克 , 罗伯特·劳伦斯 , 约翰·A·贝克尔 , 威廉·泰勒·威维尔 , 查尔斯·卡尔森 , 重阳·王 , 杰弗里·哈德更斯 , 哈拉德·赫亨 , 布赖恩·鲁
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67225 , G03B27/32 , G03D13/006 , G03F7/40 , G05B19/41825 , G05B2219/40476 , G05B2219/45031 , G05B2219/49137 , H01L21/67109 , H01L21/6715 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , H01L21/6831 , H01L21/6838 , H01L21/68707 , H01L22/26 , Y02P90/087 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10T29/53187 , Y10T29/5323
摘要： 本发明的实施例大体上提供了使用多室处理系统(例如组合工具)处理衬底的装置和方法，所述多室处理系统具有更大吞吐量、更高可靠性，组合工具中处理过的衬底具有更具重复性的晶片历史，还具有较小的系统占地。在组合工具的一种实施例中，通过将衬底分组到一起并将衬底以两个或更多个为一组进行传送和处理以提高系统吞吐量，降低了拥有成本，并减少了机械手将一批衬底在处理室之间进行传送所需的运动次数，从而减小了机械手的磨损并提高了系统可靠性。这些实施例还提供了用于提高衬底传送处理的可靠性以减少系统不可用时间的方法和装置。
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公开(公告)号：CN102388432A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016233.0
申请日：2010-04-08
申请人： 应用材料公司
发明人： 弗兰克·F·霍史达瑞恩 , 石川徹夜 , 杰伊·J·俊 , 菲尔·钱德勒 , 丹尼尔·O·克拉克
CPC分类号： B01D53/68 , B01D2251/102 , B01D2251/202 , B01D2257/204 , B01D2257/206 , B01D2257/2066 , B01D2257/708 , B01D2258/0216 , Y02W10/37
摘要： 本发明提供一种在处理系统中用于处理排出液的方法及设备。在一些实施例中，一种用于处理排出液的系统包括：处理腔室，其具有处理空间；排放导管，其连接至该处理腔室以从该处理空间移除排出液：及反应物种产生器，其连接至该排放导管以将反应物种注入该排放导管来处理该排出液，其中该反应物种产生器产生包含下列至少一者的反应物种：单态氢、氢离子或氢自由基。在一些实施例中，一种用于处理排出液的方法包括以下步骤：从处理系统的处理空间经由与该处理空间流体连接的排放导管使排出液流动；在该排放导管中通过反应物种来处理该排出液，其中该反应物种包含下列至少一者：单态氢、氢离子或氢自由基；及使经处理的排出液流动至减弱系统。
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公开(公告)号：CN102576667A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080042491.6
申请日：2010-07-21
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32422 , C23C16/452 , C23C16/45565 , C23C16/45574 , C30B25/105 , C30B25/14 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32522 , H01J37/32596 , H01J2237/2001
摘要： 本发明的实施例提供了用于利用来自等离子体的自由基进行金属HVPE或MOCVD的方法和装置。本发明的一个实施例提供了具有配气总成的处理室，所述配气总成被配置成生成等离子体，并且在将处理体积与等离子体的电场隔离的同时、将一种或多种自由基种供给到处理体积。在一个实施例中，配气总成具有多个通路，该多个通路由连接到锥体的钻孔限定，其中钻孔的纵横比被调整为允许等离子体中的自由基的通过并且保持等离子体的电场。
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公开(公告)号：CN101443131B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200580048566.0
申请日：2005-12-21
申请人： 测度有限公司
发明人： 大卫·H·喀什 , 马丁·杰夫·萨里纳斯 , 石川徹夜
IPC分类号： B05D5/00
CPC分类号： H01L21/67225 , G03B27/32 , G03D13/006 , G03F7/40 , G05B19/41825 , G05B2219/40476 , G05B2219/45031 , G05B2219/49137 , H01L21/67109 , H01L21/6715 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , H01L21/6831 , H01L21/6838 , H01L21/68707 , H01L22/26 , Y02P90/087 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10T29/53187 , Y10T29/5323
摘要： 一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。
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公开(公告)号：CN101443131A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200580048566.0
申请日：2005-12-21
申请人： 测度有限公司
发明人： 大卫·H·喀什 , 马丁·杰夫·萨里纳斯 , 石川徹夜
IPC分类号： B05D5/00
CPC分类号： H01L21/67225 , G03B27/32 , G03D13/006 , G03F7/40 , G05B19/41825 , G05B2219/40476 , G05B2219/45031 , G05B2219/49137 , H01L21/67109 , H01L21/6715 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , H01L21/6831 , H01L21/6838 , H01L21/68707 , H01L22/26 , Y02P90/087 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10T29/53187 , Y10T29/5323
摘要： 一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。
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