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公开(公告)号：CN116071362B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310267826.3
申请日：2023-03-20
申请人： 内蒙古晶环电子材料有限公司 , 浙江求是半导体设备有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种拉晶断苞检测方法、装置、计算机设备和存储介质。该方法包括：获取晶棒在拉晶阶段连续拍摄的图像组；对图像组中的每一图像进行检测，分别得到晶棒棱线的目标框；根据所有正常棱线的目标框的质心点拟合确定晶棒的圆心，并以圆心的一方向为参考方向，计算每个正常棱线的目标框相对于参考方向的圆心角；根据图像组中连续图像之间同一棱线所对应的圆心角，得到连续图像之间晶棒的转动角度；根据图像组一图像中棱线的圆心角确定该图像中晶棒棱线的初始位置，并基于初始位置和转动角度对图像组检测得到的目标框进行匹配追踪，确定晶棒拉晶是否断苞。本方案不仅能够检测出各类拉晶断苞的情况，而且能够实时准确追踪晶棒各棱线状况。
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公开(公告)号：CN116843950A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310645833.2
申请日：2023-06-01
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江求是半导体设备有限公司
IPC分类号： G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06V10/26 , G06N3/0464 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及直拉硅单晶技术领域，尤其涉及一种单晶硅拉晶复投检测方法、装置、设备及存储介质，包括：获取单晶硅拉制图像集，并对单晶硅拉制图像集进行标注处理，得到标注图像集，对标注图像集进行特征提取，得到特征图像集，利用特征图像集对预训练模型训练，得到训练完成的单晶硅复投检测模型，利用单晶硅复投检测模型对待检测单晶硅图像集进行像素级分割，得到像素分类检测结果，对结果硅料待熔量进行判断处理，若当前未开始投料且待熔料量小于预设值，则进行复投料，否则持续检测是否可投料，若已开始投料，判断投料是否完成，直到工步完成，降低人工成本，保证结果一致性与准确性，提高设备利用率，实现了高效、准确的单晶硅拉晶复投检测。
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公开(公告)号：CN117132526A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310215410.7
申请日：2023-03-01
申请人： 浙江求是半导体设备有限公司
摘要： 本申请提出了一种基于滑动窗口和TensorRT加速的硅片隐裂检测方法及装置，涉及硅片缺陷检测技术领域，包括：获取原始隐裂硅片成像，对原始隐裂硅片成像进行裁剪与标注以构建数据集；根据数据集对改进的YOLOv5模型进行训练，得到pytorch检测模型；将pytorch检测模型部署到设备端并使用TensorRT进行推理加速，生成tensorrt模型；获取待检测硅片成像，使用滑动窗口对待检测硅片成像进行滑动取图并输入至tensorrt模型进行推理，得到推理结果；对推理结果进行处理并转换回原始成像尺寸，在原始成像尺寸下对推理结果进行再次处理，得到硅片的隐裂检测结果。本申请从数据集、模型、部署方式和检测策略等方面对硅片隐裂检测进行优化，实现高精度、高速度的检测，提高产能和质量，具有高实用性。
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公开(公告)号：CN116843949A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310645681.6
申请日：2023-06-01
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江求是半导体设备有限公司
IPC分类号： G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06T7/00 , G06T7/246 , G06N3/0464 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及单晶硅制备技术领域，尤其涉及一种单晶硅生长变形检测方法、装置、设备及存储介质，包括：获取单晶硅拉制图像集，并对所述单晶硅拉制图像集进行标注处理，得到标注图像集，对所述标注图像集进行特征提取，得到特征图像集，利用所述特征图像集对预训练模型训练，得到训练完成的单晶硅检测模型，利用所述单晶硅检测模型对待检测单晶硅图像集进行检测，得到单晶硅检测结果，对所述单晶硅检测结果中发生形变的单晶硅进行处理，恢复单晶硅制备，基于深度学习卷积神经网络的理论，自动、实时、精准地判断等径晶棒生长是否有扭曲变形的存在，输出变形的程度进行生产操作，提高设备的整体自动化水平。
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公开(公告)号：CN116071362A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310267826.3
申请日：2023-03-20
申请人： 内蒙古晶环电子材料有限公司 , 浙江求是半导体设备有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种拉晶断苞检测方法、装置、计算机设备和存储介质。该方法包括：获取晶棒在拉晶阶段连续拍摄的图像组；对图像组中的每一图像进行检测，分别得到晶棒棱线的目标框；根据所有正常棱线的目标框的质心点拟合确定晶棒的圆心，并以圆心的一方向为参考方向，计算每个正常棱线的目标框相对于参考方向的圆心角；根据图像组中连续图像之间同一棱线所对应的圆心角，得到连续图像之间晶棒的转动角度；根据图像组一图像中棱线的圆心角确定该图像中晶棒棱线的初始位置，并基于初始位置和转动角度对图像组检测得到的目标框进行匹配追踪，确定晶棒拉晶是否断苞。本方案不仅能够检测出各类拉晶断苞的情况，而且能够实时准确追踪晶棒各棱线状况。
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