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公开(公告)号：CN109457228B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201811549418.2
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： C23C14/35 , C23C16/513 , C23C16/34 , C23C14/08 , C23C14/58
摘要： 一种自动控温的智能薄膜及其制备方法。一种氧化钒复合薄膜，包括第一柔性薄膜，氧化钒薄膜，以及第二柔性薄膜；其中，所述氧化钒薄膜形成于第一柔性薄膜和第二柔性薄膜之间；当所述氧化钒复合薄膜的温度降低时，所述氧化钒复合薄膜对入射光中的红外光的透射率增加；当所述氧化钒复合薄膜的温度升高时，所述氧化钒复合薄膜对入射光中的红外光的透射率降低。上述氧化钒复合薄膜使用耐高温、耐腐蚀、环境友好、透光率高的柔性材料作为基底，中间由一层氧化钒薄膜组成层叠结构。这种薄膜与玻璃、硅片等刚性基底相适应性好，具备柔性、曲折性、适应性广、轻便等优良特性，同时便于拆卸、清洗和装配，还可双向控温，对红外光的调制性能好。
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公开(公告)号：CN109666909B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201811549404.0
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。
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公开(公告)号：CN109402566B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201811554189.3
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料上形成氧化钒前驱体薄膜；步骤三，对形成有所述氧化钒前驱体薄膜的基片进行高温退火，形成具有氧化钒薄膜的复合薄膜。上述制备方法制备过程简单且容易控制，为柔性氧化钒器件的制备奠定了基础；同时上述制备方法获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好，且氧化钒与聚酰亚胺结合紧密，不易脱落。
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公开(公告)号：CN109666909A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811549404.0
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火；步骤四，在所述氧化钒缓冲层上再次形成氧化钒薄膜。上述方法制备过程简单，且容易控制，通过该制备方法所获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好、与聚酰亚胺结合紧密且不易脱落，为柔性氧化钒器件，例如氧化钒太赫兹探测器的制备奠定了基础。
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公开(公告)号：CN109457228A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811549418.2
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： C23C14/35 , C23C16/513 , C23C16/34 , C23C14/08 , C23C14/58
摘要： 一种自动控温的智能薄膜及其制备方法。一种氧化钒复合薄膜，包括第一柔性薄膜，氧化钒薄膜，以及第二柔性薄膜；其中，所述氧化钒薄膜形成于第一柔性薄膜和第二柔性薄膜之间；当所述氧化钒复合薄膜的温度降低时，所述氧化钒复合薄膜对入射光中的红外光的透射率增加；当所述氧化钒复合薄膜的温度升高时，所述氧化钒复合薄膜对入射光中的红外光的透射率降低。上述氧化钒复合薄膜使用耐高温、耐腐蚀、环境友好、透光率高的柔性材料作为基底，中间由一层氧化钒薄膜组成层叠结构。这种薄膜与玻璃、硅片等刚性基底相适应性好，具备柔性、曲折性、适应性广、轻便等优良特性，同时便于拆卸、清洗和装配，还可双向控温，对红外光的调制性能好。
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公开(公告)号：CN109402566A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811554189.3
申请日：2018-12-18
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料上形成氧化钒前驱体薄膜；步骤三，对形成有所述氧化钒前驱体薄膜的基片进行高温退火，形成具有氧化钒薄膜的复合薄膜。上述制备方法制备过程简单且容易控制，为柔性氧化钒器件的制备奠定了基础；同时上述制备方法获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好，且氧化钒与聚酰亚胺结合紧密，不易脱落。
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公开(公告)号：CN207623414U
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201721792688.7
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。
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公开(公告)号：CN209387132U
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201822133226.5
申请日：2018-12-18
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01J1/42
摘要： 本申请利用氧化钒薄膜电致相变的特性，提出了一种氧化钒太赫兹探测器。其摒弃了复杂的高电阻温度系数材料制备工艺探索，在传统水平探测器电路读出结构基础上，引入新的设计构架，即在氧化钒热敏薄膜上下两个面加电压，通过调节电压，调节氧化钒薄膜的电阻温度系数，进而改善探测器的灵敏度。本申请方案中新引入的电极亦可做为探测器的吸收层，通过仿真，探测器在30～100μm太赫兹波段有平均75％的吸收率。
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公开(公告)号：CN207727139U
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201721780875.3
申请日：2017-12-19
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜用加热装置，包括固定设置的加热盘、相对于所述加热盘转动的支架及容置于所述支架内随所述支架转动的样品夹具，所述支架包括上下依次间隔设置且相对固定的第一支板和第二支板，所述加热盘设于所述第一支板和所述第二支板之间，所述第二支板上与加热盘相对的部位设有用于容置所述样品夹具的第一卡孔，所述样品夹具包括与所述加热盘相对的吸热层、设于所述吸热层下方的托盘、及设于所述吸热层与所述托盘之间的导热层，所述托盘用于承托样品并使样品背离所述导热层的表面暴露于所述托盘下表面以进行溅射镀膜。本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜用加热装置，以对磁控溅射装置中样品基片进行高效均匀加热。
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