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公开(公告)号：CN118486756A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410356620.2
申请日：2024-03-27
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/101 , H01L31/032
摘要： 本申请涉及光电探测器技术领域，公开了一种铜镉锌锡硒光吸收层的晶界钝化方法、短波红外探测器及其制备方法。所述晶界钝化方法利用等离子清洗机对铜镉锌锡硒光吸收层进行等离子体处理，使铜镉锌锡硒光吸收层表面获得亲水改性，清洗表面的同时为脉冲氧化处理提供条件。利用原子层气相沉积设备对具有亲水改性的铜镉锌锡硒光吸收层进行脉冲氧化处理。其中，通过对原子层气相沉积设备的参数设置，在不损伤吸收层的条件下，实现了厚度可控，氧化程度可控，钝化深度可控的晶界钝化效果。并且，将上述方法应用于短波红外探测器的制备中，可以减少载流子被缺陷捕获、复合的问题，降低短波红外探测器的暗电流，提高短波红外探测器的探测率。
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公开(公告)号：CN117894881B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410280491.3
申请日：2024-03-12
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C23C14/06 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C14/35
摘要： 一种利用多靶溅射调节CIGS薄膜或太阳能电池空穴浓度的方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。本发明通过电离氩气产生高能Ar等离子体，轰击CIGS靶材，在预先制备好的衬底上制备CIGS薄膜，通过调节CIGS靶材中铜的含量，实现对CIGS中空穴浓度的可控调节。本发明采用磁控溅射法制备的CIGS薄膜成分均匀、表面光滑，且由于所使用靶材中铜的含量不同，吸收层整体空穴浓度得以调节，进一步提高了CIGS电池的开路电压和填充因子，有效地提高了电池的性能参数，更大程度的提升电池的光电转化效率。
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公开(公告)号：CN118317665A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410416565.1
申请日：2024-04-08
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明涉及钙钛矿太阳能电池技术领域，尤其涉及一种钙钛矿太阳能电池组件及其制备方法。钙钛矿太阳能电池组件的制备方法包括步骤：在基底电极上涂覆空穴传输层的前驱体溶液，经退火，得到空穴传输层；其中空穴传输层的前驱体溶液包括[2‑(3,6‑二甲氧基‑9H‑咔唑‑9‑基)乙基]膦酸；在空穴传输层上涂覆钙钛矿薄膜的前驱体溶液，经退火，得到钙钛矿薄膜。本发明通过调控选择MeO‑2PACz空穴传输层作为大面积钙钛矿薄膜的衬底，可以显著改善组件的空穴传输层的功函数均一性，还可以提升衬底表面浸润性，从而提升钙钛矿薄膜的前驱体溶液在该衬底上的铺展能力，进而获得均一、无孔洞的大面积钙钛矿薄膜，以确保大面积钙钛矿太阳能电池组件的性能。
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公开(公告)号：CN118166329A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410264815.4
申请日：2024-03-08
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： C23C14/56 , H01L31/032 , H01L31/068 , H01L31/18 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/06
摘要： 本发明涉及太阳能电池技术领域。本发明提供了一种CIGS光吸收层制备装置及制备方法、CIGS太阳能电池。本申请提供的CIGS光吸收层制备装置，包括：进样室、第一溅射室、第二溅射室、第一过渡室、第一高温室、第二高温室、出样室；与常规的CIGS光吸收层制备装置相比，本装置通过设置第一高温室对形成硒膜的CIG前驱体进行硒化、硫化，得到硒化、硫化的CIGS光吸收层，进而有效提高了太阳能电池的光电转化效率，并在高温和湿度环境下保持较好的稳定性。本发明的CIGS光吸收层制备装置，具有生产效率高，稳定性高，制备薄膜均匀性高等优点。
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公开(公告)号：CN117894881A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410280491.3
申请日：2024-03-12
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C23C14/06 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C14/35
摘要： 一种利用多靶溅射调节CIGS薄膜或太阳能电池空穴浓度的方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。本发明通过电离氩气产生高能Ar等离子体，轰击CIGS靶材，在预先制备好的衬底上制备CIGS薄膜，通过调节CIGS靶材中铜的含量，实现对CIGS中空穴浓度的可控调节。本发明采用磁控溅射法制备的CIGS薄膜成分均匀、表面光滑，且由于所使用靶材中铜的含量不同，吸收层整体空穴浓度得以调节，进一步提高了CIGS电池的开路电压和填充因子，有效地提高了电池的性能参数，更大程度的提升电池的光电转化效率。
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公开(公告)号：CN117794333A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311114648.7
申请日：2023-08-31
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本申请涉及太阳能电池技术领域，更具体地说，它涉及一种柔性高效率大面积钙钛矿太阳能电池的空穴传输层优化结晶方法。采用刮涂法在氧化铟锡(ITO)和掺氟氧化锡(FTO)透明导电玻璃上制备空穴传输层、界面修饰层、金属卤化钙钛矿层、电子传输层、空穴阻挡层和电极层，选取NiOx溶解于超纯水中用来界面修饰层，所述NiOx溶解于超纯水用于大面积钙钛矿层抑制结晶。利用NiOx对其衬底进行修饰，抑制钙钛矿薄膜在衬底上结晶析出来提升器件的效率，并影响钙钛矿薄膜生长过程以改善薄膜顶界面光电性质均一性。
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公开(公告)号：CN117626195A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311546616.4
申请日：2023-11-17
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院 , 深圳市纳设智能装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于高功率脉冲磁控溅射的碳化硅防护涂层的制备方法，靶材选取的是SiC单靶，靶材纯度为99.99％，采用的靶基距为8cm，衬底材料为石墨片，氩气纯度达到了99.999％，镀膜有效面积为10×10cm2，背底真空为1×10‑4Pa。在石墨表面沉积前，先对石墨表面进行乙醇超声清洗、烘干，将石墨片安装在镀膜支架上进入反应腔室，对反应腔室预溅射30分钟，溅射温度设置到150℃，平均功率为300w，频率为500Hz。本方法制备的碳化硅薄膜，粘附力强，性能优良，可有效对石墨进行保护。
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公开(公告)号：CN117393841A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311114597.8
申请日：2023-08-31
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01M10/0562 , H01M10/0525 , H01M10/058
摘要： 本发明涉及基于SnSb合金的全固态锂离子电解质及其制备方法。根据全固态锂离子电解质的化学式构成，先将金属元素进行叠层与压缩处理得到均匀合金，再进行硫化退火以及二次硫化退火处理得到成品。本发明使用Li箔与SnSb箔轧辊得到Li‑SnSb合金箔以替换传统的利用硫化锂、硫化锡、三硫化二锑以及硫粉经过长时间行星球磨与高温煅烧的制备方法，本发明降低了生产成本与制备温度节约了生产周期，且片状的Li‑SnSb合金箔易于硫化，工艺放大简单，使Li4‑xSn1‑xSbxS4体系大规模产业化成为可能。
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公开(公告)号：CN113571600B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202110748254.1
申请日：2021-07-01
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/115 , H01L31/0352
摘要： 本发明提供的短波红外探测器的制备方法，包括下述步骤：在基底上制备底电极，在所述底电极上制备吸收层，在所述吸收层上制备缓冲层，在所述缓冲层上制备窗口层，其中，在所述吸收层上制备缓冲层，具体包括：将分散于有机溶液中的量子点溶液，滴在所述吸收层上，并进行旋涂后加热至100‑150摄氏度退火2‑3min，得到所述缓冲层，本申请提供的短波红外探测器的制备方法，通过量子点旋涂制备缓冲层，获得与前驱体、高阻层晶格更匹配的缓冲层，形成更优异的P‑N结，降低器件的暗电流，提高量子效率，获得性能更好的短波红外探测器。另外，本发明还提供了一种短波红外探测器。
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公开(公告)号：CN116429254A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310256307.7
申请日：2023-03-07
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01J1/44
摘要： 本申请实施例涉及半导体器件技术领域，特别涉及一种光电二极管型激光功率计及其制备方法，该光电二极管型激光功率计包括：衬底以及依次叠设在衬底上的底电极阵列结构、吸收层、顶电极阵列结构；底电极阵列结构包括多个沿第一方向依次排布的底电极阵列条，相邻的底电极阵列条之间存在第一间距；顶电极阵列结构包括多个沿第二方向依次排布的顶电极阵列条，相邻的顶电极阵列条之间存在第二间距；第一方向为底电极阵列条的宽度方向，第二方向为顶电极阵列条的宽度方向；第二方向与第一方向相垂直。本申请实施例通过底电极阵列结构和顶电极阵列结构的排布设计，使得无需再像元上引出电极，实现激光功率计的多功能探测，提高了探测精度。
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