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公开(公告)号：CN116637572A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310629177.7
申请日：2023-05-30
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
摘要： 本申请公开了一种原位催化反应设备，属于原位催化反应装置领域。其包括工作台、多维样品台、样品支架、样品管、气体供给装置和检测仪器。工作台上设置有样品加热装置和温度检测装置；多维样品台设置于工作台上；样品支架设置于多维样品台上；样品管安装于样品支架上；气体供给装置包括气体储瓶，气体储瓶通过进气管与样品管的进口端连通，进气管上设置有流量控制阀和压力表；检测仪器通过出气管与样品管的出口端连通，出气管上设置有泄压阀。本申请提供的原位催化反应设备，可满足多种方法学切换使用或者多方法学联用的测试需要，能够同时对样品进行加温、加压、通气、透射扫描、旋转扫描等操作。
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公开(公告)号：CN118518696A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410600593.9
申请日：2024-05-15
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/2206 , G01N23/223 , G01N23/2204
摘要： 本申请提供了一种X射线荧光谱发射谱联用检测装置及方法，检测装置包括X射线发射组件、载样组件、X射线发射谱检测结构以及X射线荧光谱检测结构。X射线发射谱检测结构包括能量色散弯晶组件和X射线接收组件。能量色散弯晶组件包括能量色散弯晶体和晶体调节机构，工作时需确保待测样品、能量色散弯晶体以及X射线接收组件均位于同一个罗兰圆上。X射线荧光谱检测结构包括硅漂移探测器组件，其用于接收X射线荧光谱。硅漂移探测器组件具有探头，探头、待测样品以及X射线光路设于同一水平面内。本申请的X射线荧光谱发射谱联用检测装置可以应用于样品无损元素的含量、价态、电子自旋、轨道劈裂及分布的同步分析测试。
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公开(公告)号：CN117214210A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311109837.5
申请日：2023-08-30
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/085 , G01N23/20 , G01N23/223 , G01N23/2204 , G01N23/20025 , G01N23/20008
摘要： 本发明属于材料测试技术领域，涉及一种X射线桌面谱仪，包括液态靶X射线源、分析晶体、探测器、样品台和旋转控制台；样品台位于分析晶体和探测器之间的传输路径上；分析晶体位于旋转控制台上，旋转控制台带动分析晶体绕其竖直轴线转动，以调节X射线在分析晶体的入射角度；液态靶X射线源产生不同能量波段的X射线并射向分析晶体，经分析晶体衍射为单一能量的X射线并射向待测样品；探测器接收单一能量的X射线穿透待测样品后产生的荧光信号；液态靶X射线源、分析晶体和探测器位于同一罗兰圆上。本发明提供的X射线桌面谱仪，不仅能够具有宽能量范围，还能保证高光通量，缩短X射线与待测样品的相互作用时间，提高X射线桌面谱仪的工作效率。
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公开(公告)号：CN116930236A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310887808.5
申请日：2023-07-18
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/2273 , G01N21/65
摘要： 本发明公开了一种材料表面及体相测试的联用装置，属于材料分析测试技术领域，为了研究分析锂离子电池多层结构的表面及体相结构的微观粒子活动，所述材料表面及体相测试的联用装置包括硬X射线光电子能谱仪(1)和X射线拉曼散射光谱仪(2)，当入射硬X射线(31)掠入射位于样品点(4)的样品(41)时能够激发出电子和散射出光子，硬X射线光电子能谱仪(1)能够检测所述电子，X射线拉曼散射光谱仪(2)能够检测所述光子。所述材料表面及体相测试的联用装置基于同步辐射光源设施上，将硬X射线光电子能谱与硬X射线拉曼散射技术联合应用于锂离子电池测试上，具体结构简单的优点，可对锂离子电池进行表层和体相结构的同步分析。
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公开(公告)号：CN116678909A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310679545.9
申请日：2023-06-08
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明提供了一种共聚焦荧光实验装置、荧光信号的探测方法，涉及共聚焦荧光实验装置领域，共聚焦荧光实验装置包括第一支撑件、第一驱动组件、聚焦件、探测组件与第二驱动组件，所述第一支撑件用于放置样品、第一调试件、第二调试件中的任一种，所述第一驱动用于驱动所述第一支撑件移动，所述聚焦件用于将第二X射线反射至所述样品上，以使所述样品发出荧光信号，所述探测组件用于探测所述荧光信号，所述第二驱动组件用于驱动所述探测组件移动，所述第一驱动件与所述第二驱动能调整所述样品相对于所述探测组件的位置，以使得所述探测组件能探测到所述样品不同位置的所述荧光信号，从而能获得所述样品中元素的三维空间的分布信息情况。
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公开(公告)号：CN118335639A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410381386.9
申请日：2024-03-29
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008 , G01N21/64 , G01B15/02 , G01B15/08 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N9/36 , G01N9/24
摘要： 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种薄膜检测装置，包括沿X射线的传播方向设置的X射线发生器、样品架与检测单元，还包括能量探测器、第一转动机构与第二转动机构。在工作时X射线发生器所发出的X射线束以掠入射的方式入射到样品表面，同时第一转动机构驱动样品以及样品架绕第一轴线转动，检测单元在第二转动机构的驱动下绕第一轴线公转。与现有技术相比，通过检测单元对样品反射的反射光束进行检测，以及通过能量探测器对样品表面所激发的荧光信号进行检测，实现两种测量方式的联合使用，即可以满足对晶圆及其他类型薄膜材料的膜厚度、密度、粗糙度等膜特征的测量，也可以对晶圆及其他类型薄膜材料的元素组分和含量进行精确检测。
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公开(公告)号：CN118067761A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410280695.7
申请日：2024-03-12
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明公开了一种波长色散掠射荧光设备及其薄膜样品检测方法，波长色散掠射荧光设备包括：多维平移转动样品台、X射线源系统和狭缝系统、分光晶体机构以及探测器；多维平移转动样品台转动方式包括：绕z轴转动、绕x轴转动以及绕y轴转动。本申请波长色散掠射荧光设备对薄膜样品进行多种掠射X射线荧光检测，尽可能减小了样品的基底材料的影响，本底噪声较小，分析误差较小。通过改变薄膜样品的放置方式并控制多维平移转动样品台采用不同的转动方式，实现不同掠射检测模式的切换，可以对薄膜样品进行充分检测。
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公开(公告)号：CN118032838A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410097759.X
申请日：2024-01-23
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/2273 , G01N23/223 , G01N23/2204
摘要： 本申请提供了一种基于液态靶光源的X射线发射谱检测装置及测试方法，检测装置包括X射线发射组件，载样组件，能量色散弯晶组件以及X射线接收组件。能量色散弯晶组件包括能量色散弯晶体和晶体调节机构，能量色散弯晶体用于对待测样品的X射线荧光进行色散和聚焦，晶体调节机构用于调节能量色散弯晶体的位姿。工作时需确保待测样品、能量色散弯晶体以及X射线接收组件均位于同一个罗兰圆上。本申请提供的测试方法包括选用的能量色散弯晶体，计算能量色散弯晶体以及X射线接收组件的位置参数；引导激光调整能量色散弯晶体的反射角度与X射线接收组件的接受角度对应；通过标准样品能量校准；待测样品测定等步骤。
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公开(公告)号：CN116754593A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310747877.6
申请日：2023-06-25
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： G01N23/223 , G01N23/04
摘要： 本申请公开了一种X射线与电子束联用测试设备，属于测试设备领域。X射线与电子束联用测试设备包括透射电镜装置、X射线强度探测装置、X射线发射装置和X射线荧光接收装置。透射电镜装置包括装置主体和样品支撑组件，样品支撑组件的一部分穿设于第一通孔设置在内腔内；X射线强度探测装置设置于装置主体外，且朝向第二通孔设置；X射线发射装置发射的X射线依次穿过气体电离室和第二通孔射向样品；X射线荧光接收装置的一部分穿设于第三通孔设置在内腔内，且朝向样品的方向设置。本申请提供的X射线与电子束联用测试设备，能够同时对样品进行X射线吸收精细结构谱测试和透射电子成像测试，以获得样品真实可对应的二维形貌像和局域配位结构信息。
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