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公开(公告)号：CN1838330B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200610076247.7
申请日：2006-04-21
申请人： 清华大学
摘要： 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件。电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，电磁驱动元件由互不接触的定子和动子组成；定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；动子中的方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。
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公开(公告)号：CN101022040A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710064152.8
申请日：2007-03-02
申请人： 清华大学
摘要： 大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁阵列，移动电磁结构由3个以上电枢单元组成，每个电枢单元包括电枢铁心、X相绕组和Y相绕组，X相绕组和Y相绕组在电枢单元底面的竖直方向上相互重叠，且X相绕组的任一有效边与Y相绕组的任一有效边之间相互垂直。由于所述移动台的移动范围不受移动台尺寸的限制，使得移动台可以在平面尺寸远大于移动台平面尺寸的基台上移动，从而大大增加了移动台的相对行程，实现移动台的大范围平移。
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公开(公告)号：CN1599213A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN200410009472.X
申请日：2004-08-20
申请人： 清华大学
IPC分类号： H02K41/03
CPC分类号： H02K41/03 , H02K2201/18
摘要： 永磁同步平面电动机，属于电动机技术领域。为了提供一种具有高推力密度、低推力脉动和具有磁导向功能的永磁同步平面电动机，本发明公开了一种永磁同步平面电动机，在其动子底面的不同区域布置有推力绕组和磁导向绕组；所述推力绕组包括X向推力绕组和Y向推力绕组，它们在动子底面的竖直方向上相互重叠，且所述X向推力绕组的任一有效边与所述Y向推力绕组的任一有效边之间相互垂直；所述磁导向绕组包括第一磁导向绕组和第二磁导向绕组，它们分别对称布置于动子质心的两侧，并且磁导向绕组有效边与X向推力绕组的有效边或Y向推力绕组的有效边平行。由于采用了上述技术措施，所提出的永磁同步平面电动机具有高推力密度、低推力脉动和磁导向功能。
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公开(公告)号：CN1838330A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610076247.7
申请日：2006-04-21
申请人： 清华大学
摘要： 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件。电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，电磁驱动元件由互不接触的定子和动子组成；定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；动子中的方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。
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公开(公告)号：CN100552827C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710064152.8
申请日：2007-03-02
申请人： 清华大学
摘要： 大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁阵列，移动电磁结构由3个以上电枢单元组成，每个电枢单元包括电枢铁心、X相绕组和Y相绕组，X相绕组和Y相绕组在电枢单元底面的竖直方向上相互重叠，且X相绕组的任一有效边与Y相绕组的任一有效边之间相互垂直。由于所述移动台的移动范围不受移动台尺寸的限制，使得移动台可以在平面尺寸远大于移动台平面尺寸的基台上移动，从而大大增加了移动台的相对行程，实现移动台的大范围平移。
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公开(公告)号：CN100521468C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200410009472.X
申请日：2004-08-20
申请人： 清华大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： H02K41/03
CPC分类号： H02K41/03 , H02K2201/18
摘要： 永磁同步平面电动机，属于电动机技术领域。为了提供一种具有高推力密度、低推力脉动和具有磁导向功能的永磁同步平面电动机，本发明公开了一种永磁同步平面电动机，在其动子底面的不同区域布置有推力绕组和磁导向绕组；所述推力绕组包括X向推力绕组和Y向推力绕组，它们在动子底面的竖直方向上相互重叠，且所述X向推力绕组的任一有效边与所述Y向推力绕组的任一有效边之间相互垂直；所述磁导向绕组包括第一磁导向绕组和第二磁导向绕组，它们分别对称布置于动子质心的两侧，并且磁导向绕组有效边与X向推力绕组的有效边或Y向推力绕组的有效边平行。由于采用了上述技术措施，所提出的永磁同步平面电动机具有高推力密度、低推力脉动和磁导向功能。
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公开(公告)号：CN1996726A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200610169826.6
申请日：2006-12-29
申请人： 清华大学
摘要： 一种超薄3自由度平面电机，属于半导体装备领域。为提供一种满足光刻设备一面要求高精度一面要求高速度的微动工作台执行元件，本发明公开了一种超薄3自由度平面电机，由线圈组件和永磁体组件组成，包含三组驱动单元，在单层上实现在平面内3个自由度，其中两组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第三组驱动单元驱动轴线与前两组的正交；每组驱动单元包含一个或多个线圈串联、驱动力方向一致的驱动单元，每个驱动单元含有一个沿电机运动平面绕制的线圈和上下两对永磁体。从整体性能而言，本发明所述平面电机具有结构紧凑、推力大、精度高以及可整体实现三自由度运动等优点。
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公开(公告)号：CN1291445C
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200410009225.X
申请日：2004-06-18
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/68764 , H01J2237/20207 , H01J2237/20228 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701 , H01L21/67213 , H01L21/68
摘要： 一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。本发明提供了一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，其特征在于：所述角度控制与扫描运动机构为PR-PRR型双支链2自由度平面并联机构，包括靶盘、第一支链和第二支链。本发明解决了现有串联型靶盘角度控制与扫描机构的刚度低、与腔室连接的底层构件负荷过大等问题，同时，有利于将靶盘扫描运动机构的驱动电动机布置于注入腔室的外部，克服了驱动电动机布置于腔室内部而带来的对注入腔室环境的不利影响。
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公开(公告)号：CN100553082C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200610169826.6
申请日：2006-12-29
申请人： 清华大学
摘要： 一种超薄3自由度平面电机，属于半导体装备领域。为提供一种满足光刻设备一面要求高精度一面要求高速度的微动工作台执行元件，本发明公开了一种超薄3自由度平面电机，由线圈组件和永磁体组件组成，包含三组驱动单元，在单层上实现在平面内3个自由度，其中两组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第三组驱动单元驱动轴线与前两组的正交；每组驱动单元包含一个或多个线圈串联、驱动力方向一致的驱动单元，每个驱动单元含有一个沿电机运动平面绕制的线圈和上下两对永磁体。从整体性能而言，本发明所述平面电机具有结构紧凑、推力大、精度高以及可整体实现三自由度运动等优点。
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公开(公告)号：CN1595599A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410009225.X
申请日：2004-06-18
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/68764 , H01J2237/20207 , H01J2237/20228 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701 , H01L21/67213 , H01L21/68
摘要： 一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。本发明提供了一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，其特征在于：所述角度控制与扫描运动机构为PR－PRR型双支链2自由度平面并联机构，包括靶盘、第一支链和第二支链。本发明解决了现有串联型靶盘角度控制与扫描机构的刚度低、与腔室连接的底层构件负荷过大等问题，同时，有利于将靶盘扫描运动机构的驱动电动机布置于注入腔室的外部，克服了驱动电动机布置于腔室内部而带来的对注入腔室环境的不利影响。
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