公开(公告)号：CN115740738A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202310031222.9

申请日：2023-01-10

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  杨伟 ,  杨快 ,  刘义杰 ,  曹宇轩

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/03 ,  B23K26/70

摘要： 本发明涉及光学系统技术领域，尤其涉及一种激光制造系统，包括：激光光源，激光光源用于发射激光；激光分频系统，激光分频系统包括依次设置的激光分频模块和激光分色模块，激光分频模块用于将激光光源发射的激光进行处理并产生紫外激光和可见激光，激光分色模块用于将激光分频模块处理后的光分为独立的紫外激光、可见激光和红外激光；辅助照明系统，辅助照明系统包括依次设置的激光衰减装置和调焦模块，激光衰减装置的入光侧用于接收经所述激光分色模块出射的可见激光。可以通过一个激光光源同时产生紫外激光和可见激光，同时满足激光加工和照明需求，降低系统复杂程度，降低成本，提升系统的集成度和紧凑性。

公开(公告)号：CN116105644A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202310370155.3

申请日：2023-04-10

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  曹宇轩 ,  杨快 ,  杨伟

IPC分类号： G01B15/04

摘要： 本发明提供一种射线扫描成像方法及射线加工方法。射线扫描成像方法包括：获取待扫描面上采样点的射线强度数据；获取射线到达采样点时射线偏转装置对应的偏转角度数据；记录待扫描面上采样点的位置数据对应的射线强度数据和射线偏转装置对应的偏转角度数据；将记录的采样点的位置数据和射线强度数据进行组合，得到待扫描面的图像。本发明提供的射线扫描成像方法，能够在不移动样品的情况下，扫描得到样品表面的光学形貌，分辨率、扫描成像范围自由灵活调整，为加工点对准、加工质量检测提供了可能。本发明提供的射线加工方法，提升了加工便利性的同时，还能够实现精确无误差的加工位置确定、加工起始点对准，提升加工精度。

公开(公告)号：CN115826254B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202310108381.4

申请日：2023-02-14

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  杨伟 ,  杨快

IPC分类号： G02B27/09 ,  H01S3/00 ,  H01S5/00

摘要： 本发明提供一种平顶光束调制方法、系统及存储介质，包括：激光扩束系统、光束能量调制系统和激光聚焦系统；所述激光扩束系统将入射激光光束束腰扩束至满足球面透镜像差调节的范围；所述光束能量调制系统通过球面透镜对入射光束能量重新分配，并通过不同焦距的球面透镜组合可实现由高斯光束能量分布向目标能量分布的调制；所述激光聚焦系统对调制后的准直光束进行聚焦，在聚焦区域可获得平顶光束。本发明解决了现有平顶光束调制质量差的问题。

公开(公告)号：CN115826254A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202310108381.4

申请日：2023-02-14

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  杨伟 ,  杨快

IPC分类号： G02B27/09 ,  H01S3/00 ,  H01S5/00

摘要： 本发明提供一种平顶光束调制方法、系统及存储介质，包括：激光扩束系统、光束能量调制系统和激光聚焦系统；所述激光扩束系统将入射激光光束束腰扩束至满足球面透镜像差调节的范围；所述光束能量调制系统通过球面透镜对入射光束能量重新分配，并通过不同焦距的球面透镜组合可实现由高斯光束能量分布向目标能量分布的调制；所述激光聚焦系统对调制后的准直光束进行聚焦，在聚焦区域可获得平顶光束。本发明解决了现有平顶光束调制质量差的问题。

公开(公告)号：CN116105644B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202310370155.3

申请日：2023-04-10

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  曹宇轩 ,  杨快 ,  杨伟

IPC分类号： G01B15/04

摘要： 本发明提供一种射线扫描成像方法及射线加工方法。射线扫描成像方法包括：获取待扫描面上采样点的射线强度数据；获取射线到达采样点时射线偏转装置对应的偏转角度数据；记录待扫描面上采样点的位置数据对应的射线强度数据和射线偏转装置对应的偏转角度数据；将记录的采样点的位置数据和射线强度数据进行组合，得到待扫描面的图像。本发明提供的射线扫描成像方法，能够在不移动样品的情况下，扫描得到样品表面的光学形貌，分辨率、扫描成像范围自由灵活调整，为加工点对准、加工质量检测提供了可能。本发明提供的射线加工方法，提升了加工便利性的同时，还能够实现精确无误差的加工位置确定、加工起始点对准，提升加工精度。

公开(公告)号：CN115740738B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202310031222.9

申请日：2023-01-10

申请人： 清华大学

发明人： 张震 ,  杨伟 ,  杨快 ,  刘义杰 ,  曹宇轩

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/03 ,  B23K26/70

摘要： 本发明涉及光学系统技术领域，尤其涉及一种激光制造系统，包括：激光光源，激光光源用于发射激光；激光分频系统，激光分频系统包括依次设置的激光分频模块和激光分色模块，激光分频模块用于将激光光源发射的激光进行处理并产生紫外激光和可见激光，激光分色模块用于将激光分频模块处理后的光分为独立的紫外激光、可见激光和红外激光；辅助照明系统，辅助照明系统包括依次设置的激光衰减装置和调焦模块，激光衰减装置的入光侧用于接收经所述激光分色模块出射的可见激光。可以通过一个激光光源同时产生紫外激光和可见激光，同时满足激光加工和照明需求，降低系统复杂程度，降低成本，提升系统的集成度和紧凑性。