公开(公告)号：CN110541157A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910849765.5

申请日：2019-09-09

Applicant: 温州大学 ,  陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司

Inventor： 钟蓉 ,  仇成功 ,  彭鹏 ,  甄龙云 ,  薛遥 ,  李冬冬 ,  周建华

IPC: C23C16/20 ,  C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及一种限制GaN外延薄膜的裂纹生长、表面形貌均匀且工艺相对简单、易于实现的Si衬底上外延生长GaN薄膜的方法。采用的技术方案包括：采用MOCVD系统进行外延生长以及Si衬底上外延生长GaN薄膜的方法，其特征在于：其外延结构依次为Si衬底、预铺铝层、低温氮化铝（AlN）缓冲层、高温氮化铝（AlN）缓冲层、氮化镓铝（AlxGa1-xN）层、氮化镓（GaN）薄膜层，其中，低温AlN缓冲层为低温AlN三维成核层，高温AlN缓冲层为高温AlN二维成核层，AlxGa1-xN层为AlxGa1-xN应力释放层，GaN薄膜层为最终生长层。

公开(公告)号：CN110907825A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201911110790.8

申请日：2019-11-14

Applicant: 温州大学苍南研究院 ,  温州大学

Inventor： 钟蓉 ,  周建华 ,  潘晓铭 ,  仇成功 ,  甄龙云 ,  谢磊

IPC: G01R31/34 ,  G01R1/04

Abstract: 本发明公开一种无刷直流电机原型机的测试工装，包括步进电机、步进电机法兰盘、同步带轮、上支撑板、电机夹具基座、下支撑板、定子夹具、可更换轴承支座、基座滑杆、丝杆，支撑板主体限定有z轴移动的通道；电机夹具基座可在z轴移动的通道移动，可停留在范围内任意位置；定子夹具用于安装电机的定子；直流电机转子转轴用于装配转子并与可拆换轴承支座配合；可更换轴承支座用于更换测试轴承。根据本发明实施例的无刷直流电机原型机的测试工装，可以调整电机夹具基座的高度，来适应转子轴上转子的高度，定子夹具可以安装多个型号，多个尺寸的电机的定子，转子轴端与轴承支座通过轴承配合，可以根据测试需求，来更换恰当的轴承。

公开(公告)号：CN109979855B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201910250642.X

申请日：2019-03-29

Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 ,  温州大学

Inventor： 钟蓉 ,  仇成功 ,  甄龙云 ,  张淼 ,  周建华 ,  孙浩然 ,  郑蓓蓉

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路连接的微米级冷焊接手动装置。本发明通过以下技术方案实现，包括：送线机构(主要由第一底座、第一竖杆、丝杠、轴承座、轴承、第一滑杆、丝杠螺母、丝杠螺母座、丝杠扭动帽、横梁链接块、短横梁、长横梁、第一可转角度支架、不可转角度支架、挂线钩、固线杆、线夹子组成),工作台(设置在所述送线机构一侧，主要由圆台、第一滑块、第二底座、第二滑杆、调节螺栓组成),高倍显微镜和点胶机构。本发明的优点在于：代替激光焊接，连接线与样品之间采用导电胶连接，为常温焊接，不对材料微结构造成损坏；代替传统手持式液体焊接，提高焊接的精准度，同时减少失误率。

公开(公告)号：CN109979855A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201910250642.X

申请日：2019-03-29

Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院 ,  温州大学

Inventor： 钟蓉 ,  仇成功 ,  甄龙云 ,  张淼 ,  周建华 ,  孙浩然 ,  郑蓓蓉

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种用于集成电路连接的微米级冷焊接手动装置。本发明通过以下技术方案实现，包括：送线机构(主要由第一底座、第一竖杆、丝杠、轴承座、轴承、第一滑杆、丝杠螺母、丝杠螺母座、丝杠扭动帽、横梁链接块、短横梁、长横梁、第一可转角度支架、不可转角度支架、挂线钩、固线杆、线夹子组成),工作台(设置在所述送线机构一侧，主要由圆台、第一滑块、第二底座、第二滑杆、调节螺栓组成),高倍显微镜和点胶机构。本发明的优点在于：代替激光焊接，连接线与样品之间采用导电胶连接，为常温焊接，不对材料微结构造成损坏；代替传统手持式液体焊接，提高焊接的精准度，同时减少失误率。

公开(公告)号：CN112501590A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011236149.1

申请日：2020-11-09

Applicant: 温州大学

Inventor： 钟蓉 ,  王杨波 ,  甄龙云 ,  熊诵明 ,  黄文献

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明涉及一种更好的气流横向轨迹，并能保证沉积区域各个位置工艺温度一致的MOCVD设备。采用的技术方案包括：径向截面均呈圆形的顶盖、顶盖面板、底座和衬托,其特征在于：所述顶盖面板的上表面嵌入所述顶盖底部、下表面为中间薄两边厚的曲面，所述顶盖中心的垂直方向设置气体管道、且所述气体管道的下端延伸至所述底座中心，所述气体管道侧壁设有若干层圆周排列的出气孔。优点：通过新型的顶盖面板设计，使边缘和中心位置受力更为均匀且薄膜的生长速度更为接近，从而改善薄膜的均匀性问题。

公开(公告)号：CN112501590B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202011236149.1

申请日：2020-11-09

Applicant: 温州大学

Inventor： 钟蓉 ,  王杨波 ,  甄龙云 ,  熊诵明 ,  黄文献

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明涉及一种更好的气流横向轨迹，并能保证沉积区域各个位置工艺温度一致的MOCVD设备。采用的技术方案包括：径向截面均呈圆形的顶盖、顶盖面板、底座和衬托,其特征在于：所述顶盖面板的上表面嵌入所述顶盖底部、下表面为中间薄两边厚的曲面，所述顶盖中心的垂直方向设置气体管道、且所述气体管道的下端延伸至所述底座中心，所述气体管道侧壁设有若干层圆周排列的出气孔。优点：通过新型的顶盖面板设计，使边缘和中心位置受力更为均匀且薄膜的生长速度更为接近，从而改善薄膜的均匀性问题。