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公开(公告)号：CN114203611A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202210034360.8
申请日：2022-01-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L31/18 , C30B31/14 , C23C16/458
摘要： 本发明公开了一种用于立式炉的自动上下料系统，包括石英舟取放装置、翻舟装置、硅片顶升装置、整片装置、插取片机械手和硅片上下料传输装置；石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间转移；翻舟装置用于实现石英舟在立式状态和卧式状态之间进行变换；硅片顶升装置用于带动硅片做升降运动；整片装置用于实现硅片的对中；插取片机械手用于带动硅片在硅片上下料传输装置和硅片顶升装置之间进行转移；硅片上下料传输装置用于实现硅片从花篮取出并传输至插取片机械手的取片位。本发明还公开了一种立体炉体，包括如上所述自动上下料系统。本发明具有结构紧凑、占地空间小、取片精度高、自动化程度高、稳定性高等优点。
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公开(公告)号：CN112758573A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011480356.1
申请日：2020-12-15
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： B65G1/04
摘要： 本发明公开了一种移动货架用定位耦合装置，包括机架，第一电极和定位机构，第一电极、定位机构设置在机架上，定位机构包括安装板、定位导向组件和牵引组件，定位导向组件和牵引组件设置在安装板上，定位导向组件至少为2个，定位导向组件对称布置在牵引组件的两侧，牵引组件包括水平驱动机构、垂直驱动机构、移动推板、牵引板和滑动组件，移动推板通过滑动组件与安装板相连，牵引板与移动推板相连，水平驱动机构用于驱动移动推板沿水平方向前后移动，垂直驱动机构用于驱动牵引板沿垂直方向作升降运动。本发明还提供了一种移动货架及传料系统。本发明具有成本低、定位方式简单可靠、稳定性好、安装调试方便等优点。
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公开(公告)号：CN114335253B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111678593.3
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。
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公开(公告)号：CN114136967A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111405832.8
申请日：2021-11-24
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种在线石墨舟翘片检测装置及检测方法，装置包括机架、石墨舟纵向传输机构、石墨舟横向传输机构、检测元件和检测纵向移动机构，所述石墨舟横向传输机构设于机架的底部，石墨舟纵向传输机构设于石墨舟横向传输机构上，石墨舟纵向传输机构用于驱动石墨舟纵向移动，石墨舟横向传输机构用于驱动石墨舟纵向传输机构横向移动，检测纵向移动机构设于机架上且位于石墨舟横向传输机构的上方，检测纵向移动机构用于驱动检测元件纵向移动。本发明通过检测元件自动检测石墨舟内的硅片，不再需要人工对石墨舟进行翘片检测，自动化程度高，效率更高，检测可靠性更高，在减少人工接触带来的污染及碎片，节约设备的运行成本。
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公开(公告)号：CN118439321A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410492655.9
申请日：2024-04-23
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟搬运装置，包括：X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、旋转机构和夹持机构；Y轴移动机构滑动安装在X轴移动机构上，Z轴移动机构滑动安装在Y轴移动机构上，旋转机构的一端与Z轴移动机构连接，旋转机构的另一端与夹持机构连接，夹持机构用于夹取石墨舟；X轴移动机构和Y轴移动机构均采用封闭式模组，且单一运动轴采用单一驱动元件进行驱动；在X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构和旋转机构的驱动下，以实现石墨舟在石墨舟装卸片机内沿空间X、Y、Z三个方向的移动和绕Z方向的旋转。本发明具有结构紧凑、装调便捷、使用灵活性高且有利于提升设备洁净度等优点，提升了设备的镀膜良率。
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公开(公告)号：CN114335253A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111678593.3
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。
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公开(公告)号：CN216980521U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202220077733.5
申请日：2022-01-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L31/18 , C30B31/14 , C23C16/458
摘要： 本实用新型公开了一种用于立式炉的自动上下料系统，包括石英舟取放装置、翻舟装置、硅片顶升装置、整片装置、插取片机械手和硅片上下料传输装置；石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间转移；翻舟装置用于实现石英舟在立式状态和卧式状态之间进行变换；硅片顶升装置用于带动硅片做升降运动；整片装置用于实现硅片的对中；插取片机械手用于带动硅片在硅片上下料传输装置和硅片顶升装置之间进行转移；硅片上下料传输装置用于实现硅片从花篮取出并传输至插取片机械手的取片位。本实用新型还公开了一种立体炉体，包括如上所述自动上下料系统。本实用新型具有结构紧凑、占地空间小、取片精度高、自动化程度高、稳定性高等优点。
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公开(公告)号：CN216980532U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123435172.6
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L31/18 , C30B31/14 , C30B33/02
摘要： 本实用新型公开了一种石英舟翻转装置，包括底座、支架、驱动组件、滑台、X方向定位组件、Y方向定位组件和Z方向定位组件，驱动组件设于底座上并用于驱动支架翻转，滑台可移动的设于支架上并用于安装石英舟，X方向定位组件用于驱动石英舟在滑台上沿X方向移动以实现石英舟在X方向的定位，Y方向定位组件用于驱动滑台在支架上沿Y方向移动以实现石英舟在Y方向的定位，Z方向定位组件用于在Z方向压紧石英舟以实现石英舟在Z方向的定位。该石英舟翻转装置，通过多方向对待翻转的石英舟定位，提高装卸片的精度，能够对石英舟进行自动翻转，不需要人工翻转，避免掉舟和砸舟等事故的发生，自动化程度高，避免硅片隐裂和碎片，提高产品的良品率。
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