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公开(公告)号:CN1930425A
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN200580005660.8
申请日:2005-08-24
Applicant: 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
CPC classification number: C09K5/04 , B22F1/0003 , C09K5/14 , F25B9/14 , F25B2309/003
Abstract: 本发明提供一种使用蓄冷材的蓄冷器及克莱欧泵,该蓄冷材是在对环境影响较大的铅以外,满足作为蓄冷材的诸条件(比热、热传导率、加工性、强度、硬度、化学稳定性、低成本)。本发明的蓄冷器(14)是在制冷剂气体通过的内部通路收容有在与制冷剂气体之间进行热交换的蓄冷材(16)。蓄冷材(16)是由Sn、Bi-Sn合金、Ag-Sn合金的任一种所构成,且形成为球状,在蓄冷器(14)的内部通路充填有多个的该等球状的蓄冷材(16)。
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公开(公告)号:CN100458310C
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200580005660.8
申请日:2005-08-24
Applicant: 爱发科低温泵株式会社 , 株式会社爱发科
CPC classification number: C09K5/04 , B22F1/0003 , C09K5/14 , F25B9/14 , F25B2309/003
Abstract: 本发明提供一种使用蓄冷材的蓄冷器及克莱欧泵,该蓄冷材是在对环境影响较大的铅以外,满足作为蓄冷材的诸条件(比热、热传导率、加工性、强度、硬度、化学稳定性、低成本)。本发明的蓄冷器(14)是在制冷剂气体通过的内部通路收容有在与制冷剂气体之间进行热交换的蓄冷材(16)。蓄冷材(16)是由Sn、Bi-Sn合金、Ag-Sn合金的任一种所构成,且形成为球状,在蓄冷器(14)的内部通路充填有多个的该等球状的蓄冷材(16)。
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公开(公告)号:CN106345137A
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201610535053.2
申请日:2016-07-08
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: B01D8/00
CPC classification number: B01D8/00
Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁,所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接,并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间。
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公开(公告)号:CN103898453B
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201310326007.8
申请日:2013-07-30
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置(RU1)具有冷冻机(2)和由冷冻机冷却的冷却面板(1),使冷却面板的主面(1a)与处理对象(S)接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置在处理室内,在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头(21)与冷却面板接触,通过热传递冷却冷却面板。
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公开(公告)号:CN106345137B
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201610535053.2
申请日:2016-07-08
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: B01D8/00
Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁,所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接,并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间。
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公开(公告)号:CN103898453A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201310326007.8
申请日:2013-07-30
Applicant: 爱发科低温泵株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置(RU1)具有冷冻机(2)和由冷冻机冷却的冷却面板(1),使冷却面板的主面(1a)与处理对象(S)接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置在处理室内,在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头(21)与冷却面板接触,通过热传递冷却冷却面板。
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