公开(公告)号：CN1982179B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200610173270.8

申请日：2006-12-18

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 金薰

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G51/03

摘要： 本发明提供了一种用于传送玻璃基板的设备和方法。该设备包括：供气装置，其供应气体；喷射板，其具有多个喷射孔，气体通过所述多个喷射孔喷出；以及阻挡板，其局部地阻挡由所述多个喷射孔喷出的气体。根据本发明，由于玻璃基板不是通过与诸如辊之类的任何装置发生物理接触而进行传送，因此可以防止玻璃基板被粉粒污染。而且，由于气体持续将玻璃基板悬浮在空气中，因此玻璃基板在传送期间不会倾斜。

公开(公告)号：CN1988753B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200610170533.X

申请日：2006-12-21

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  黄寅旭 ,  金薰

IPC分类号： H05H1/48 ,  H05H1/34

摘要： 本发明提供一种用于在大气压力下产生等离子体并供应所述等离子体的装置，该装置包括：壳体，气体导入所述壳体内；以及等离子体发生单元，所述等离子体发生单元包括设置在所述壳体内的上电极、以及设置在所述上电极之下的网状的下电极，其中，所述下电极通过使线形条交叉并使所述线形条之间具有规则的间隙而形成。根据本发明的网状下电极较容易制造。所述网状下电极使得可以调节等离子体所经过的开口的尺寸，从而在基板上均匀地提供等离子体。另外，使得微粒和残余气体不能附到所述基板的表面或附到所述装置的内部。

公开(公告)号：CN1988753A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610170533.X

申请日：2006-12-21

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  黄寅旭 ,  金薰

IPC分类号： H05H1/48 ,  H05H1/34

摘要： 本发明提供一种用于在大气压力下产生等离子体并供应所述等离子体的装置，该装置包括：壳体，气体导入所述壳体内；以及等离子体发生单元，所述等离子体发生单元包括设置在所述壳体内的上电极、以及设置在所述上电极之下的网状的下电极。根据本发明的网状下电极较容易制造。所述网状下电极使得可以调节等离子体所经过的开口的尺寸，从而在基板上均匀地提供等离子体。另外，使得微粒和残余气体不能附到所述基板的表面或附到所述装置的内部。

公开(公告)号：CN1982179A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200610173270.8

申请日：2006-12-18

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 金薰

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G51/03

摘要： 本发明提供了一种用于传送玻璃基板的设备和方法。该设备包括：供气装置，其供应气体；喷射板，其具有多个喷射孔，气体通过所述多个喷射孔喷出；以及阻挡板，其局部地阻挡由所述多个喷射孔喷出的气体。根据本发明，由于玻璃基板不是通过与诸如辊之类的任何装置发生物理接触而进行传送，因此可以防止玻璃基板被粉粒污染。而且，由于气体持续将玻璃基板悬浮在空气中，因此玻璃基板在传送期间不会倾斜。