公开(公告)号：CN102668057B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201080055596.5

申请日：2010-11-09

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 威廉·T·维弗 ,  贾麦·A·凯瑞儿 ,  罗伯特·B·宝佩特 ,  亚隆·威波 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B65G49/06

CPC分类号： H01L21/67739 ,  G21K5/10 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

摘要： 一种系统，用以将工件装载至处理腔室而在矩阵配置中处理的系统，包括输送机、工件旅舍、选取片。配置输送机而以线性方式运输多个工件；配置工件旅舍以从输送机接收多工件。此工件旅舍包括以N行M层排列的单元矩阵；配置选取片以插入旅舍并自旅舍退回，以将多个基材从第一层卸载至选取片的单一列上，并重复此卸载操作以形成矩阵，此矩阵包括多个列而配置在选取片上的基材。在一例中，此工件旅舍具有交错的配置，此交错的配置提供了各个旅舍单元的各别可达性。

公开(公告)号：CN102668057A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080055596.5

申请日：2010-11-09

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 威廉·T·维弗 ,  贾麦·A·凯瑞儿 ,  罗伯特·B·宝佩特 ,  亚隆·威波 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B65G49/06

CPC分类号： H01L21/67739 ,  G21K5/10 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

摘要： 一种系统，用以将工件装载至处理腔室而在矩阵配置中处理的系统，包括输送机、工件旅舍、选取片。配置输送机而以线性方式运输多个工件；配置工件旅舍以从输送机接收多工件。此工件旅舍包括以N行M层排列的单元矩阵；配置选取片以插入旅舍并自旅舍退回，以将多个基材从第一层卸载至选取片的单一列上，并重复此卸载操作以形成矩阵，此矩阵包括多个列而配置在选取片上的基材。在一例中，此工件旅舍具有交错的配置，此交错的配置提供了各个旅舍单元的各别可达性。