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公开(公告)号：CN107810547A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201680037201.6
申请日：2016-06-24
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/67109 , H01L21/6831
摘要： 本发明揭示一种利用LED加热的静电夹具。所述利用LED加热的静电夹具包括包含LED加热器的第一子组合件和包括静电夹具的第二子组合件。所述LED衬底加热器子组合件包含具有凹部的基底。多个发光二极管LED安置在所述凹部内。所述LED可为GaN或GaP LED，其在容易由硅吸收的波长处发光，因此有效且快速地加热所述衬底。包括静电夹具的所述第二子组合件安置在所述LED衬底加热器子组合件上。所述静电夹具包含在由所述LED发射的所述波长处为透明的顶部电介质层和内部层。一或多个电极安置于所述顶部电介质层与所述内部层之间以形成所述静电力。
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公开(公告)号：CN107710395A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038070.3
申请日：2016-06-24
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 罗伯特·布然特·宝佩特 , 盖瑞·E·维卡 , 大卫·伯拉尼克 , 杰森·M·夏勒 , 威廉·T·维弗
CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/67109 , H05B3/0047
摘要： 本发明公开了一种在可保持于真空条件下的室内加热基板的系统。发光二极管基板加热器包括基座，所述基座具有被侧壁环绕的凹陷部。多个发光二极管安置于所述凹陷部内。所述发光二极管可为GaN发光二极管或GaP发光二极管，其发射易于被硅或所述硅上的涂层吸收的波长的光，从而高效且迅速地加热所述基板。透明窗口安置于所述凹陷部上方，从而形成用以在其中安置所述发光二极管的被密封的壳体。密封衬垫可安置于所述侧壁与所述窗口之间。
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公开(公告)号：CN103415919B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280012699.2
申请日：2012-03-09
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68 , B65G49/07 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/67781 , H01L21/681 , Y10T29/49764 , Y10T29/49829 , Y10T29/53022 , Y10T29/53539
摘要： 一种对准装置、工件承载设备以及对准方法。所述对准装置具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。
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公开(公告)号：CN104969340A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201380072416.8
申请日：2013-12-11
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 亚隆·P·威波 , 查理斯·T·卡尔森 , 威廉·T·维弗 , 克里斯多夫·N·葛兰特
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/266 , H01L21/682
摘要： 一种用于在离子注入掩模与工件之间提供精确且可重复的对准的掩模对准系统。所述系统包含掩模框架，掩模框架具有松散地连接到掩模框架的多个离子注入掩模。掩模框架设有多个框架对准空腔，且每一掩模设有多个掩模对准空腔。所述系统还包含用于固持工件的压板。压板可设有多个掩模对准销和框架对准销，多个掩模对准销和多个框架对准销经配置以分别啮合掩模对准空腔和框架对准空腔。掩模框架可降低到压板上，其中框架对准空腔移动成与框架对准销对齐以在掩模与工件之间提供粗略对准。掩模对准空腔可接着移动成与掩模对准销对齐，进而将每一个别掩模移位成与相应工件精确对准。
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公开(公告)号：CN107636818B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201680026696.2
申请日：2016-04-26
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 摩根·D·艾文斯 , 杰森·M·夏勒 , D·杰弗里·里斯查尔 , 阿拉·莫瑞迪亚 , 威廉·T·维弗 , 罗伯特·布然特·宝佩特
摘要： 一种衬底处理与加热系统。揭露一种当衬底在负载锁室与平台之间传送时用于加热衬底的系统。所述系统包括发光二极管的阵列，其配置于对准站上方。发光二极管可为GaN或GaP发光二极管，其发出具有易于被硅吸收的波长的光，因此有效且快速地加热衬底。发光二极管可排列为使得对准期间的衬底旋转产生衬底的均匀温度分布。此外，对准期间的加热也可提高生产力以及省略目前与处理室连结的预加热站。
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公开(公告)号：CN107810547B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201680037201.6
申请日：2016-06-24
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/67109 , H01L21/6831
摘要： 本发明揭示一种设备及利用发光二极管加热的静电夹具。所述利用LED加热的静电夹具包括包含LED加热器的第一子组合件和包括静电夹具的第二子组合件。所述LED衬底加热器子组合件包含具有凹部的基底。多个发光二极管LED安置在所述凹部内。所述LED可为GaN或GaP LED，其在容易由硅吸收的波长处发光，因此有效且快速地加热所述衬底。包括静电夹具的所述第二子组合件安置在所述LED衬底加热器子组合件上。所述静电夹具包含在由所述LED发射的所述波长处为透明的顶部电介质层和内部层。一或多个电极安置于所述顶部电介质层与所述内部层之间以形成所述静电力。
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公开(公告)号：CN107636818A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680026696.2
申请日：2016-04-26
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 摩根·D·艾文斯 , 杰森·M·夏勒 , D·杰弗里·里斯查尔 , 阿拉·莫瑞迪亚 , 威廉·T·维弗 , 罗伯特·布然特·宝佩特
CPC分类号： F26B3/30 , H01L21/67115 , H01L21/68
摘要： 揭露一种当衬底在负载锁室与平台之间传送时用于加热衬底的系统。所述系统包括发光二极管的阵列，其配置于对准站上方。发光二极管可为GaN或GaP发光二极管，其发出具有易于被硅吸收的波长的光，因此有效且快速地加热衬底。发光二极管可排列为使得对准期间的衬底旋转产生衬底的均匀温度分布。此外，对准期间的加热也可提高生产力以及省略目前与处理室连结的预加热站。
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公开(公告)号：CN106165122B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201580018131.5
申请日：2015-02-10
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 尼可拉斯·PT·贝特曼 , 班哲明·里欧丹 , 威廉·T·维弗
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , H01J2237/31711
摘要： 本发明揭示一种用来植入工件表面的掩模组以及处理工件的方法。揭示一种处理太阳能电池的方法，进行连锁图案化离子植入以产生具有较重掺杂区域的轻掺杂表面的工件。此种配置可以用在多种实施例中，例如用于选择性射极太阳能电池。此外，也揭示用来产生于所需图案的多种掩模组。掩模组可包括一或多个具有开口部分和图案化部分的掩模，其中该些开口部分的总合构成被植入表面的整体。该些掩模的该些图案化部分合并产生重掺杂区域的所需图案。
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公开(公告)号：CN107112187A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580068755.8
申请日：2015-11-18
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 摩根·D·艾文斯 , 凯文·安葛林 , D·杰弗里·里斯查尔 , 威廉·T·维弗 , 杰森·M·夏勒 , 罗伯特·布仁特·宝佩特
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265 , H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67115 , H01J37/3171 , H01L21/6776 , H01L21/265 , H01L21/324
摘要： 本发明公开一种用以在处理期间动态加热工件的系统及方法。系统包括离子源及被排列成阵列的多个发光二极管，多个发光二极管射向工件的表面的一部分处。发光二极管被选择成使其发出处于易于由工件吸收的频率范围内的光，从而加热工件。在某些实施例中，发光二极管恰好在工件的一部分经离子束处理之前加热所述部分。在另一实施例中，发光二极管在工件的一部分正进行处理时加热所述部分。发光二极管可被排列成阵列，阵列可具有至少与离子束的宽度一样宽的宽度。阵列还具有垂直于其宽度的长度，长度具有一行或多行发光二极管。
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公开(公告)号：CN103415919A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201280012699.2
申请日：2012-03-09
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68 , B65G49/07 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/67781 , H01L21/681 , Y10T29/49764 , Y10T29/49829 , Y10T29/53022 , Y10T29/53539
摘要： 一种对准装置，其具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。
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