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公开(公告)号：CN101103432A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580046588.3
申请日：2005-11-18
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 安东尼·雷诺 , 唐纳·L·史麦特雷克 , 詹姆士·贝福 , 艾立克·赫尔曼森
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/026 , H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H05H7/08
摘要： 本发明是用一或多个电子源，将电子(18)注入即将在磁铁的磁极片(130，132)之间传送的一离子束(122)。在本发明部分实施例中，该些电子源是位于磁铁的磁极片的其中之一或两者的凹穴(160)中。在本发明其他实施例中，无线电频率或微波等离子流枪是位于磁极片之间，或配置在磁极片的至少其中之一的凹穴中。
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公开(公告)号：CN101103432B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200580046588.3
申请日：2005-11-18
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 安东尼·雷诺 , 唐纳·L·史麦特雷克 , 詹姆士·贝福 , 艾立克·赫尔曼森
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/026 , H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H05H7/08
摘要： 本发明是用一或多个电子源，将电子(18)注入即将在磁铁的磁极片(130，132)之间传送的一离子束(122)。在本发明部分实施例中，该些电子源是位于磁铁的磁极片的其中之一或两者的凹穴(160)中。在本发明其他实施例中，无线电频率或微波等离子流枪是位于磁极片之间，或配置在磁极片的至少其中之一的凹穴中。
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公开(公告)号：CN101584017A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200780050095.6
申请日：2007-12-03
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 唐纳·L·史麦特雷克 , 葛登·C·恩吉尔 , 拉杰许·都蕾
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/152 , H01J2237/31701
摘要： 揭示离子注入机中束缚电子的装置与方法。所述装置与方法包含：沿离子束路径(30)的至少一部分来定位的磁体的第一阵列(31)以及磁体的第二阵列(32)，所述第一阵列位于所述离子束路径的第一侧上且所述第二阵列位于所述离子束路径的第二侧上，所述第一侧与所述第二侧相反。所述第一阵列中的至少一磁体(302)可具有面向所述第二阵列中的相应磁体(302)的相反磁极的磁极，磁体的所述第一与第二阵列可在所述离子束路径中或附近共同产生勾形磁场以束缚电子。
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公开(公告)号：CN101584017B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200780050095.6
申请日：2007-12-03
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 唐纳·L·史麦特雷克 , 葛登·C·恩吉尔 , 拉杰许·都蕾
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/152 , H01J2237/31701
摘要： 揭示离子注入机中束缚电子的装置与方法。所述装置与方法包含：沿离子束路径(30)的至少一部分来定位的磁体的第一阵列(31)以及磁体的第二阵列(32)，所述第一阵列位于所述离子束路径的第一侧上且所述第二阵列位于所述离子束路径的第二侧上，所述第一侧与所述第二侧相反。所述第一阵列中的至少一磁体(302)可具有面向所述第二阵列中的相应磁体(302)的相反磁极的磁极，磁体的所述第一与第二阵列可在所述离子束路径中或附近共同产生勾形磁场以束缚电子。
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