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发明公开
真空兼容的发光二极管基板加热器无效

公开(公告)号：CN107710395A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038070.3

申请日：2016-06-24

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 罗伯特·布然特·宝佩特 , 盖瑞·E·维卡 , 大卫·伯拉尼克 , 杰森·M·夏勒 , 威廉·T·维弗

IPC分类号： H01L21/67 , H01L33/00

CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/67109 , H05B3/0047

摘要： 本发明公开了一种在可保持于真空条件下的室内加热基板的系统。发光二极管基板加热器包括基座，所述基座具有被侧壁环绕的凹陷部。多个发光二极管安置于所述凹陷部内。所述发光二极管可为GaN发光二极管或GaP发光二极管，其发射易于被硅或所述硅上的涂层吸收的波长的光，从而高效且迅速地加热所述基板。透明窗口安置于所述凹陷部上方，从而形成用以在其中安置所述发光二极管的被密封的壳体。密封衬垫可安置于所述侧壁与所述窗口之间。