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公开(公告)号：CN115287628A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210870217.2
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体扩散炉保温桶及其夹取装置，其包括多个由石英玻璃所制成的保温翅片，多个所述保温翅片均同轴且沿所述保温翅片轴向均匀间隔分布，多个所述保温翅片通过连接件连接，所述保温翅片的一侧开设有多个贯穿保温翅片的定位孔，多个所述定位孔沿所述保温翅片周向均匀分布。本申请能够减少制造保温桶所用的材料，具有减少制造保温桶的成本的效果。
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公开(公告)号：CN113560985A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202111132143.4
申请日：2021-09-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造设备，公开了一种半导体石英部件可变径倒角机，包括机架、转动安装于机架上的旋转台，旋转台上开设有多个围绕旋转台中心分布且长度沿旋转台直径方向延伸的滑行槽，滑行槽长度方向的延长线相交于旋转台的转动中心，旋转台上安装有倒角块，倒角块之间分布于同一个圆上并在滑行槽内沿滑行槽的长度方向移动，且在旋转台上设置有用于调节倒角块之间相互距离的调节机构；本发明可调节式的倒角块能够根据待加工石英部件的尺寸变化调整相互之间的距离，从而适应不同尺寸石英部件的倒角需求；而联动机构能够实现倒角块之间的同步进、退，使倒角块之间不管如何调整位置均位于同一个圆上，从而使得石英部件的倒角更加精准。
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公开(公告)号：CN116462393A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310437454.4
申请日：2023-04-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： C03B23/13 , C03B23/045 , C03B23/043 , C03B23/023
摘要： 本发明提供了一种大直径石英管底部封口成型的方法通过真空夹具夹持石英板中心，并通过石墨棒对石英板由外到内进行弯曲，直至石英板加工至弧形的石英管底面；在石英管底面的加工上，石英管底面采用单独加工，其石英管底面的厚薄度更容易控制；其次在管体以及石英管底面的对接上，对接过程中需持续加热并不断小幅拉升挤压，通过不断小幅拉升挤压使其融合更为充分，对接成型后更为牢固；本发明还提供了一种大直径石英管底部封口成型的对接装置，通过推动机构推动真空夹具横向左右移动，使管体以及石英管底面在对接过程中不断小幅拉升挤压，使其融合完全。
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公开(公告)号：CN118455767A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410746103.6
申请日：2024-06-11
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种异型管生产工艺及其生产设备，其包括机架、切割组件、安装组件以及夹持组件，切割组件以及安装组件均设置于机架上，夹持组件包括夹持座以及两个用于夹持圆柱管的端面夹持件，夹持座滑移连接于机架上，端面夹持件沿圆柱管的长度方向分布，端面夹持件包括夹持气缸、伸入管、气泵以及四个顶块，伸入管的长度方向平行于圆柱管的长度方向，伸入管沿伸入管的长度方向滑移连接于夹持座上，四个顶块沿伸入管的轴线周向分布，顶块沿伸入管的径向方向滑移连接于伸入管的侧壁上，伸入管的两端密封设置，气泵用于向伸入管内通气，夹持气缸用于带动伸入管进入圆柱管内。本申请具有能够生产不同直径的异形管的效果。
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公开(公告)号：CN115156791A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210616113.9
申请日：2022-06-01
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： B23K37/04
摘要： 本申请涉及一种半导体外延生长炉的支架制作方法及焊接工装，包括以下步骤：S1：将支撑杆悬挂在工装上；S2：将加工完成的支撑臂及定位杆绕支撑杆的轴线周向间隔固定装夹在支撑杆正下方的工装上；S3：校对支撑杆的垂直度以及支撑杆与三根支撑臂之间的同轴度；S4：校对后确定同轴度在公差允许范围内后，将支撑臂焊接到支撑杆上。本申请具有将支撑臂以及支撑杆通过焊接的方式连接，支撑杆和支撑臂在打磨加工时装夹较方便，且由于对支撑杆的上端进行夹持，焊接工人在焊接时无需将焊接设备举起对支撑杆的高处进行焊接，使得焊接工人在焊接时更加稳定，焊接后的成品支架质量更高的效果。
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公开(公告)号：CN113560985B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202111132143.4
申请日：2021-09-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造设备，公开了一种半导体石英部件可变径倒角机，包括机架、转动安装于机架上的旋转台，旋转台上开设有多个围绕旋转台中心分布且长度沿旋转台直径方向延伸的滑行槽，滑行槽长度方向的延长线相交于旋转台的转动中心，旋转台上安装有倒角块，倒角块之间分布于同一个圆上并在滑行槽内沿滑行槽的长度方向移动，且在旋转台上设置有用于调节倒角块之间相互距离的调节机构；本发明可调节式的倒角块能够根据待加工石英部件的尺寸变化调整相互之间的距离，从而适应不同尺寸石英部件的倒角需求；而联动机构能够实现倒角块之间的同步进、退，使倒角块之间不管如何调整位置均位于同一个圆上，从而使得石英部件的倒角更加精准。
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公开(公告)号：CN216030144U
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202122102968.3
申请日：2021-09-02
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英半导体研磨盘，包括盘体，盘体的一端面开设有若干料槽。本申请具有在研磨之前，将研磨剂填充在料槽中，随之启动驱动电机带动研磨盘转动，料槽中填充的研磨剂在离心力的作用下从料槽中溢出，研磨盘通过从料槽中溢出的研磨剂对石英件进行研磨，在料槽的限制下，有效研磨剂不易大量地在研磨盘的离心力的作用下从研磨盘上被甩飞，降低了有效研磨剂的浪费的同时，料槽中预填充的研磨剂会在研磨盘离心力的作用下对研磨盘顶壁上的研磨剂量进行补充，减少了工作人员停机补充研磨剂的次数，进而提高了研磨效率的效果。
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公开(公告)号：CN214642425U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202122456479.8
申请日：2021-10-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，包括工作台、倒角轮以及电机，所述倒角轮转动安装在所述工作台上，所述电机设置于所述工作台内且输出轴与所述倒角轮同轴连接，所述工作台上设置有吸风组件，所述吸风组件包括吸风通道以及吸风机，所述工作台表面开设有多个吸风孔，所述吸风通道设置于所述工作台上且连接所述吸风机和所述吸风孔。本申请能够减小倒角废屑对人手的影响。
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公开(公告)号：CN217686640U
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202221802233.X
申请日：2022-07-11
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及扩散炉的领域，尤其是涉及一种应用于扩散炉中的保温桶及其加工工装，其包括板体，所述板体内部中空，所述板体内部填充石英棉，所述板体侧面开设有供石英棉进入的进料口，所述进料口盖设有盖板，所述板体一端设置有抽真空孔。本申请通过一整块的板体代替多个石英片，且保持板体内的真空状态，从而提高保温效果。
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公开(公告)号：CN220331636U
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202321802234.9
申请日：2023-07-11
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： B28D5/00 , B28D7/04 , B23K26/382 , B23K26/70
摘要： 一种用于分流板打孔的工装夹具，包括机床本体以及石英管，石英管端部连接有分流板，机床本体侧面转动连接有卡盘，机床本体侧面还连接有工作台，工作台上横向滑动连接有托架；托架包括底板、上连接板以及顶板，底板上方纵向滑动连接有两个安装座，安装座上皆转动连接有托架轮；本实用新型通过控制托架与卡盘的间距从而夹持不同长度的石英管；本实用新型上连接板上连接有竖向滑座，竖向滑座上竖向滑动连接有竖向滑竿，竖向滑竿下端转动连接有下压轮；底板上方还转动连接有纵向螺杆，纵向螺杆上设有两段旋向相反的螺纹段，螺杆外端连接有控制装置，本实用新型通过调节下压轮的高度以及两托架轮之间的间距从而夹持不同直径的石英管。
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