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公开(公告)号：CN102203898B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN200980136544.8
申请日：2009-07-16
Applicant: 真实仪器公司 , 德克萨斯大学达拉斯分校
Inventor： 吉米·W·霍斯克 , 马苏·J·郭克勒 , 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·库尼 , 肯尼斯·C·赫文 , P.L.·司德文·瑟班
Abstract: 本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
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公开(公告)号：CN102203898A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980136544.8
申请日：2009-07-16
Applicant: 真实仪器公司 , 德克萨斯大学达拉斯分校
Inventor： 吉米·W·霍斯克 , 马苏·J·郭克勒 , 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·库尼 , 肯尼斯·C·赫文 , P.L.·司德文·瑟班
Abstract: 本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
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公开(公告)号：CN101128718B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200680006135.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 亚恩·安娜斯·艾耶·艾耶 , 马克·A·麦勒尼 , 肯尼斯·C·哈维 , 安德鲁·威克斯·库尼
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0641
Abstract: 一种用于根据外差光学信号获取相移信息的外差式反射计系统和方法，根据这些信号可以计算薄膜的深度。具有两个彼此正交、具有分离光学频率线性极化分量的线性极化光定向朝向薄膜，促使其中一个光学极化分量滞后于另一个分量，因为该分量在薄膜中的光学路径的增加。一对探测器分别接收从薄膜层反射的波束并且产生测量信号、以及入射到薄膜层之前的波束并且产生参考信号。测量信号和参考信号由鉴相器分析以获得相移。然后探测的相移供给厚度计算器以获得薄膜厚度结果。可以在外差式反射计系统中结合光栅干涉计，其中的光栅将反射的波束衍射到零阶和一阶带。
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公开(公告)号：CN101128718A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200680006135.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 亚恩·安娜斯·艾耶·艾耶 , 马克·A·麦勒尼 , 肯尼斯·C·哈维 , 安德鲁·威克斯·库尼
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0641
Abstract: 一种用于根据外差光学信号获取相移信息的外差式反射计系统和方法，根据这些信号可以计算薄膜的深度。具有两个彼此正交、具有分离光学频率线性极化分量的线性极化光定向朝向薄膜，促使其中一个光学极化分量滞后于另一个分量，因为该分量在薄膜中的光学路径的增加。一对探测器分别接收从薄膜层反射的波束并且产生测量信号、以及入射到薄膜层之前的波束并且产生参考信号。测量信号和参考信号由鉴相器分析以获得相移。然后探测的相移供给厚度计算器以获得薄膜厚度结果。可以在外差式反射计系统中结合光栅干涉计，其中的光栅将反射的波束衍射到零阶和一阶带。
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