公开(公告)号：CN107001914A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580061791.1

申请日：2015-10-27

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 冈田安规 ,  秋山智美 ,  杉山博保

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供能够以更高的研磨效率对表面具有结晶性的金属化合物的研磨对象物进行研磨的研磨用组合物。一种研磨用组合物，其用于对表面具有结晶性的金属化合物的研磨对象物进行研磨的用途，所述研磨用组合物包含氧化铝磨粒、胶态二氧化硅磨粒及水。

公开(公告)号：CN114364633A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202080060529.6

申请日：2020-05-15

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 秋山智美 ,  早川隆志 ,  芦高圭史 ,  三轮直也

IPC: C01B25/37 ,  A61K8/29 ,  A61Q1/00 ,  A61Q1/02 ,  A61Q17/04 ,  A61Q19/00

Abstract: 本发明的磷酸钛板状颗粒的比表面积增加方法包含得到由磷酸钛板状颗粒形成的粉体分散于碱性水溶液的状态的液体的工序。

公开(公告)号：CN107429146A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680011796.8

申请日：2016-02-12

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 芹川雅之 ,  天高恭祐 ,  秋山智美 ,  浅井舞子

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明涉及一种研磨用组合物，其特征在于，其用于研磨包含金属或半金属的氧化物或者它们的复合材料的研磨对象物的表面，且至少含有水和二氧化硅，二氧化硅包含粒径为20nm以上且70nm以下的小粒径二氧化硅和粒径为100nm以上且200nm以下的大粒径二氧化硅，小粒径二氧化硅在前述研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅在研磨用组合物中含有2质量％以上，大粒径二氧化硅的平均粒径除以小粒径二氧化硅的平均粒径的值为2以上。