公开(公告)号：CN103415372A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201280009634.2

申请日：2012-02-20

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 浅野宏 ,  玉井一诚 ,  冈田安规

IPC: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/02024

Abstract: 本发明提供至少含有氧化铝磨粒和水，且具有8.5以上的pH的研磨用组合物。氧化铝磨粒具有20m2/g以下的比表面积。氧化铝磨粒优选具有0.1μm以上且20μm以下的平均二次粒径。研磨用组合物在研磨维氏硬度为1500Hv以上的硬脆材料、例如蓝宝石、碳化硅或氮化镓的用途中使用。

公开(公告)号：CN107052988A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710177901.1

申请日：2012-02-20

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 浅野宏 ,  玉井一诚 ,  冈田安规

IPC: B24B37/04 ,  C09K3/14 ,  C09G1/02 ,  H01L21/02

CPC classification number: B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/02024

Abstract: 本发明提供一种研磨用组合物在维氏硬度1500Hv以上的作为硬脆材料的蓝宝石、碳化硅或者氮化镓的研磨中的用途，其特征在于，该研磨用组合物至少含有氧化铝磨粒和水，且具有8.5以上的pH，所述氧化铝磨粒具有12m2/g以下的比表面积。

公开(公告)号：CN107001914A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580061791.1

申请日：2015-10-27

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 冈田安规 ,  秋山智美 ,  杉山博保

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供能够以更高的研磨效率对表面具有结晶性的金属化合物的研磨对象物进行研磨的研磨用组合物。一种研磨用组合物，其用于对表面具有结晶性的金属化合物的研磨对象物进行研磨的用途，所述研磨用组合物包含氧化铝磨粒、胶态二氧化硅磨粒及水。