压电振动器和压电振动器的制造方法

    公开(公告)号:CN115085687A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210250610.1

    申请日:2022-03-15

    IPC分类号: H03H9/10 H03H9/15 H03H3/02

    摘要: 能够提供在吸气材料配置于封装件的内部的压电振动器和该压电振动器的制造方法中吸气材料相对于封装件配置于正确位置的压电振动器。本发明是具备具有从基部(31)延伸出的一对振动臂部的压电振动片(3)、和对压电振动片(3)进行气密封闭并且安装有压电振动片(3)的封装件(2)的压电振动器(1),具备:标记(4),其设置于封装件2的底面(2a1),并且光反射率比底面(2a1)更高;和吸气材料(5),其配置于标记(4)上,并且在树脂材料中含有吸气性材料。

    压电振子容器和压电振子
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113381716A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202110254299.3

    申请日:2021-03-09

    摘要: 本发明涉及压电振子容器和压电振子,避免基于离子铣削的内部布线的断裂。压电振子(1)在压电振子容器(2)内,侧臂型的压电振动片(6)的支撑臂部(9)装配于由金属突起形成的安装部(14),在进行基于离子铣削的频率调整后,由封口板(4)密闭。形成于底板(10)的底板内表面(10f)的内部电极(32)中,至少离子铣削下的开口窗(81)周边的一部分(远离开口窗(81)的一侧)在底板(10)与上框(11)之间形成,从而内部电极(32)的一部分由上框(11)覆盖。由此,内部电极(32)中未由上框(11)覆盖的露出部分即使假设由于离子铣削而缺损,由于被覆盖的部分残留,因而也能够可靠地避免内部电极(32)的断线。