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公开(公告)号:CN102195232B
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201110045868.X
申请日:2011-02-24
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
摘要: 本发明提供了一种锁模半导体激光器件及其驱动方法,所述锁模半导体激光器件包括:层压结构,其中,逐次地层压第一化合物半导体层、具有发光区域的第三化合物半导体层和第二化合物半导体层,以及第二电极和第一电极;其中,层压结构形成在具有极性的化合物半导体基板上,第三化合物半导体层包括具有势阱层和势垒层的量子阱结构,势阱层具有1nm以上且10nm以下的深度,势垒层具有2×1018cm-3以上且1×1020cm-3以下的掺杂浓度,以及使电流从第二电极经由层压结构流至第一电极,而在发光区域中生成光脉冲。
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公开(公告)号:CN102856788A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201210034734.2
申请日:2010-03-19
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号: H01S5/0625 , H01S5/042 , H01S5/343 , B82Y20/00
CPC分类号: H01S5/0625 , B82Y20/00 , H01S5/0425 , H01S5/0602 , H01S5/0658 , H01S5/14 , H01S5/22 , H01S5/3216 , H01S5/34333
摘要: 本发明涉及二分型半导体激光元件及其制造方法、以及其驱动方法。该半导体激光元件可以准确、可靠并容易地形成通过分离槽被分离的第二电极和脊结构。二分型半导体激光元件的制造方法包括以下各工序:(A)在形成第一化合物半导体层(30)、构成发光区域(41)和可饱和吸收区域(42)的化合物半导体层(40)、以及第二化合物半导体层(50)之后,(B)在第二化合物半导体层(50)上形成带状的第二电极(62),(C)接下来,将第二电极(62)作为蚀刻用掩膜,至少对第二化合物半导体层(50)的一部分进行蚀刻,形成脊结构,(D)然后,以湿蚀刻法在第二电极(62)上形成分离槽(62C),并且通过分离槽将第二电极分离成第一部分(62A)和第二部分(62B)。
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公开(公告)号:CN101847826B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201010138524.9
申请日:2010-03-19
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号: H01S5/0625 , H01S5/042
CPC分类号: H01S5/0625 , B82Y20/00 , H01S5/0425 , H01S5/0602 , H01S5/0658 , H01S5/14 , H01S5/22 , H01S5/3216 , H01S5/34333
摘要: 本发明涉及二分型半导体激光元件及其制造方法、以及其驱动方法。该半导体激光元件可以准确、可靠并容易地形成通过分离槽被分离的第二电极和脊结构。二分型半导体激光元件的制造方法包括以下各工序:(A)在形成第一化合物半导体层(30)、构成发光区域(41)和可饱和吸收区域(42)的化合物半导体层(40)、以及第二化合物半导体层(50)之后,(B)在第二化合物半导体层(50)上形成带状的第二电极(62),(C)接下来,将第二电极(62)作为蚀刻用掩膜,至少对第二化合物半导体层(50)的一部分进行蚀刻,形成脊结构,(D)然后,以湿蚀刻法在第二电极(62)上形成分离槽(62C),并且通过分离槽将第二电极分离成第一部分(62A)和第二部分(62B)。
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公开(公告)号:CN102315590A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201110185441.X
申请日:2011-06-30
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
CPC分类号: H01S5/1064 , H01S5/0425 , H01S5/0602 , H01S5/0657 , H01S5/16 , H01S5/22 , H01S5/32341 , H01S5/34333 , H01S5/50
摘要: 本发明提供了一种半导体光放大器,其包括:层叠结构,该层叠结构依次包括由GaN化合物半导体构成并且具有第一导电类型的第一化合物半导体层、具有由GaN化合物半导体构成的光放大区的第三化合物半导体层以及由GaN化合物半导体构成并且具有第二导电类型的第二化合物半导体层;第二电极,其形成于第二化合物半导体层上;以及第一电极,其电连接于第一化合物半导体层。所述层叠结构具有脊状条纹结构。当在光出射端面中的脊状条纹结构以及在光入射端面中的脊状条纹结构的各宽度分别为Wout和Win时,则满足Wout>Win。从光出射端面起,沿半导体光放大器的轴线而在层叠结构的内部区域中设置载流子非注入区。本发明可获得更大的光输出,并且使输出的激光变得稳定。
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公开(公告)号:CN102195232A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110045868.X
申请日:2011-02-24
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
摘要: 本发明提供了一种锁模半导体激光器件及其驱动方法,所述锁模半导体激光器件包括:层压结构,其中,逐次地层压第一化合物半导体层、具有发光区域的第三化合物半导体层和第二化合物半导体层,以及第二电极和第一电极;其中,层压结构形成在具有极性的化合物半导体基板上,第三化合物半导体层包括具有势阱层和势垒层的量子阱结构,势阱层具有1nm以上且10nm以下的深度,势垒层具有2×1018cm-3以上且1×1020cm-3以下的掺杂浓度,以及使电流从第二电极经由层压结构流至第一电极,而在发光区域中生成光脉冲。
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公开(公告)号:CN102315590B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201110185441.X
申请日:2011-06-30
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
CPC分类号: H01S5/1064 , H01S5/0425 , H01S5/0602 , H01S5/0657 , H01S5/16 , H01S5/22 , H01S5/32341 , H01S5/34333 , H01S5/50
摘要: 本发明提供了一种半导体光放大器,其包括:层叠结构,该层叠结构依次包括由GaN化合物半导体构成并且具有第一导电类型的第一化合物半导体层、具有由GaN化合物半导体构成的光放大区的第三化合物半导体层以及由GaN化合物半导体构成并且具有第二导电类型的第二化合物半导体层;第二电极,其形成于第二化合物半导体层上;以及第一电极,其电连接于第一化合物半导体层。所述层叠结构具有脊状条纹结构。当在光出射端面中的脊状条纹结构以及在光入射端面中的脊状条纹结构的各宽度分别为Wout和Win时,则满足Wout>Win。从光出射端面起,沿半导体光放大器的轴线而在层叠结构的内部区域中设置载流子非注入区。本发明可获得更大的光输出,并且使输出的激光变得稳定。
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公开(公告)号:CN101854028A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010196194.9
申请日:2010-02-23
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号: H01S5/042
CPC分类号: H01S5/4006 , B82Y20/00 , H01S5/0428 , H01S5/06216 , H01S5/0658 , H01S5/14 , H01S5/2009 , H01S5/22 , H01S5/3063 , H01S5/3216 , H01S5/34333
摘要: 提供一种具有简单组成和简单结构的、驱动超短脉冲和超高功率激光二极管器件的方法。在驱动激光二极管器件的方法中,光从光注入部件注入通过脉冲电流驱动的激光二极管器件,该脉冲电流具有如阈值电流值的10倍或更多倍大的值。
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公开(公告)号:CN101847826A
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN201010138524.9
申请日:2010-03-19
申请人: 索尼公司 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号: H01S5/0625 , H01S5/042
CPC分类号: H01S5/0625 , B82Y20/00 , H01S5/0425 , H01S5/0602 , H01S5/0658 , H01S5/14 , H01S5/22 , H01S5/3216 , H01S5/34333
摘要: 本发明涉及二分型半导体激光元件及其制造方法、以及其驱动方法。该半导体激光元件可以准确、可靠并容易地形成通过分离槽被分离的第二电极和脊结构。二分型半导体激光元件的制造方法包括以下各工序:(A)在形成第一化合物半导体层(30)、构成发光区域(41)和可饱和吸收区域(42)的化合物半导体层(40)、以及第二化合物半导体层(50)之后,(B)在第二化合物半导体层(50)上形成带状的第二电极(62),(C)接下来,将第二电极(62)作为蚀刻用掩膜,至少对第二化合物半导体层(50)的一部分进行蚀刻,形成脊结构,(D)然后,以湿蚀刻法在第二电极(62)上形成分离槽(62C),并且通过分离槽将第二电极分离成第一部分(62A)和第二部分(62B)。
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公开(公告)号:CN102403650A
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN201110369269.3
申请日:2009-07-29
申请人: 索尼株式会社 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号: H01S5/062
CPC分类号: H01S5/06216 , H01S5/0428
摘要: 本发明提供一种具有简单结构和配置的超短脉冲/超高功率激光二极管。在驱动该激光二极管的方法中,通过比阈值电流值高10倍以上的脉冲电流驱动该激光二极管。该脉冲电流的宽度优选地为10纳秒以下,并且该脉冲电流的值具体地为0.4安以上。
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公开(公告)号:CN102420387B
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201110358564.9
申请日:2009-07-29
申请人: 索尼株式会社 , 国立大学法人东北大学
CPC分类号: H01S5/06216 , H01S5/0428
摘要: 本发明提供一种具有简单结构和配置的超短脉冲/超高功率激光二极管的驱动方法。在驱动该激光二极管的方法中,通过比阈值电流值高10倍以上的脉冲电流驱动该激光二极管。该脉冲电流的宽度优选地为10纳秒以下,并且该脉冲电流的值具体地为0.4安以上。
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