公开(公告)号：CN103787260A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201310511826.X

申请日：2013-10-25

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·贡斯卡 ,  J·赖因穆特 ,  K·古切 ,  J·弗莱 ,  H·韦伯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/00

CPC classification number: B81C1/00285 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/096 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/035

Abstract: 本发明涉及一种微机械构件（100），所述微机械构件具有第一腔室（1）和第二腔室（3），在所述第一腔室中设置有第一传感器（2），在所述第二腔室中设置有第二传感器（4），其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室（1，3）之一通过第三腔室（5）延伸至第一格栅结构（6），所述第一格栅结构设置在所述构件（100）的边缘区域中并且基本上严密密封地封闭。

公开(公告)号：CN103787260B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201310511826.X

申请日：2013-10-25

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·贡斯卡 ,  J·赖因穆特 ,  K·古切 ,  J·弗莱 ,  H·韦伯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/00

CPC classification number: B81C1/00285 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/096 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/035

Abstract: 本发明涉及一种微机械构件（100），所述微机械构件具有第一腔室（1）和第二腔室（3），在所述第一腔室中设置有第一传感器（2），在所述第二腔室中设置有第二传感器（4），其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室（1，3）之一通过第三腔室（5）延伸至第一格栅结构（6），所述第一格栅结构设置在所述构件（100）的边缘区域中并且基本上严密密封地封闭。