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公开(公告)号:CN103774188A
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201310670038.5
申请日:2013-10-08
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C25D3/38
CPC classification number: C25D3/38
Abstract: 电解铜镀液和电解铜镀覆方法。提供一种不含有对环境有害的甲醛并且具有良好的孔填孔性能的铜电镀液。本发明的该铜电镀液包括具有-X-S-Y-结构和一个特殊脲衍生物的化合物,其中X和Y是分别选自氢原子、碳原子、硫原子、氮原子和氧原子的原子,并且仅当它们是碳原子时X和Y可以是相同的。当使用所述铜电镀液时,外观劣化的情况不会发生并且能够形成良好的填充孔。提供铜电镀液,其包括具有-X-S-Y-结构(式中,X和Y是分别选自氢原子、碳原子、硫原子、氮原子和氧原子的原子,并且仅当它们是碳原子时X和Y可以是相同的)和N,N’-双(羟基甲基)脲的化合物。
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公开(公告)号:CN103451691B
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201310328871.1
申请日:2013-05-31
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C25D3/38
Abstract: 电解铜镀液以及电镀铜方法。提供了一种电解铜镀液,其包含具有-X-S-Y-结构的化合物和通式(I)表示的化合物,其中X和Y分别为选自氢、碳、硫、氮和氧原子的原子,并且只有当它们是碳原子时X和Y可以是相同的;其中,R1-R6彼此独立,为碳原子数1-4的烷基,该烷基可选的被氢原子或者官能团取代;R1-R6中的至少2个可以相互连接成环;并且R1-R6可以包含杂原子。
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公开(公告)号:CN103774188B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201310670038.5
申请日:2013-10-08
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C25D3/38
CPC classification number: C25D3/38
Abstract: 电解铜镀液和电解铜镀覆方法。提供一种不含有对环境有害的甲醛并且具有良好的孔填孔性能的铜电镀液。本发明的该铜电镀液包括具有-X-S-Y-结构和一个特殊脲衍生物的化合物,其中X和Y是分别选自氢原子、碳原子、硫原子、氮原子和氧原子的原子,并且仅当它们是碳原子时X和Y可以是相同的。当使用所述铜电镀液时,外观劣化的情况不会发生并且能够形成良好的填充孔。提供铜电镀液,其包括具有-X-S-Y-结构(式中,X和Y是分别选自氢原子、碳原子、硫原子、氮原子和氧原子的原子,并且仅当它们是碳原子时X和Y可以是相同的)和N,N’-双(羟基甲基)脲的化合物。
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公开(公告)号:CN103184489A
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN201210599269.7
申请日:2012-12-27
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC classification number: C25D3/38 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H05K3/424
Abstract: 一种铜电镀液,其包含具有-X-S-Y-结构的化合物以及茚三酮,其中所述X和Y分别是选自由氢、碳、硫、氮和氧组成的组中的原子,并且只有当X和Y是碳原子时其是相同的。通过使用这种铜电镀液,能够在镀层表面没有恶化的情况下获得良好的填充孔。
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公开(公告)号:CN103173811B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201210599267.8
申请日:2012-12-24
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC classification number: C25D3/38 , C25D7/123 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H05K3/423 , H05K3/427 , H05K2201/09563 , H05K2201/0959
Abstract: 一种包含具有-X-S-Y-结构的化合物和脂肪族半醛的铜电镀溶液,其中X和Y是相互独立地选自由氢、碳、硫、氮和氧组成的组中的原子,并且X和Y只有当它们是碳原子时才相同。通过使用该铜电镀溶液,可以形成良好填充的通孔而不恶化电镀的形貌。
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公开(公告)号:CN103184489B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201210599269.7
申请日:2012-12-27
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC classification number: C25D3/38 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H05K3/424
Abstract: 一种铜电镀液,其包含具有-X-S-Y-结构的化合物以及茚三酮,其中所述X和Y分别是选自由氢、碳、硫、氮和氧组成的组中的原子,并且只有当X和Y是碳原子时其是相同的。通过使用这种铜电镀液,能够在镀层表面没有恶化的情况下获得良好的填充孔。
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公开(公告)号:CN103451691A
公开(公告)日:2013-12-18
申请号:CN201310328871.1
申请日:2013-05-31
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC: C25D3/38
Abstract: 电解铜镀液以及电镀铜方法。提供了一种电解铜镀液,其包含具有-X-S-Y-结构的化合物和通式(I)表示的化合物,其中X和Y分别为选自氢、碳、硫、氮和氧原子的原子,并且只有当它们是碳原子时X和Y可以是相同的;其中,R1-R6彼此独立,为碳原子数1-4的烷基,该烷基可选的被氢原子或者官能团取代;R1-R6中的至少2个可以相互连接成环;并且R1-R6可以包含杂原子。
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公开(公告)号:CN103173811A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210599267.8
申请日:2012-12-24
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC classification number: C25D3/38 , C25D7/123 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H05K3/423 , H05K3/427 , H05K2201/09563 , H05K2201/0959
Abstract: 一种包含具有-X-S-Y-结构的化合物和脂肪族半醛的铜电镀溶液,其中X和Y是相互独立地选自由氢、碳、硫、氮和氧组成的组中的原子,并且X和Y只有当它们是碳原子时才相同。通过使用该铜电镀溶液,可以形成良好填充的通孔而不恶化电镀的形貌。
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