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发明公开
一种基于应力集中效应的压力传感器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118265434A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410376142.1

申请日：2024-03-29

申请人： 苏州大学

发明人： 吕洋旸 , 谢凌婕 , 文震 , 刘伊娜 , 江顾宇 , 后佳旬

IPC分类号： H10N30/30 , H10N30/50 , H10N30/87 , H10N30/074

摘要： 本发明提供一种基于应力集中效应的压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。压力传感器包括由上至下依次布置的第一电极层、摩擦层、第二电极层和应力集中层，摩擦层包括摩擦部，摩擦部与第一电极层之间间隔预设距离，应力集中层包括多个第一锥形微结构，第一锥形微结构设置成其尖端远离第二电极层，且应力集中层的杨氏模量为第一预设值，第一预设值为范围在700‑1300kPa中任一值，以制备具有不同杨氏模量应力集中层的压力传感器，从而提高压力传感器的灵敏度以及增大压力传感器的检测范围。