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公开(公告)号：CN111403327B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202010232461.7
申请日：2020-03-28
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/203 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种溅射台上的硅片输送设备，涉及硅片加工技术领域。在本申请中，溅射台上的硅片输送设备，包括：机体设置在平面上，机体的内部设置有输送轮，输送轮与机体固定连接；放置装置设置在机体的一侧，放置装置与机体连接，放置装置包括：外壳设置在机体的上方，外壳与机体配合连接，外壳的内部成中空；放置板设置在外壳的内部，放置板之间设置有空隙；导出装置设置在机体的内部，导出装置与机体固定连接，导出装置包括：导出板设置在机体的内部，导出板与放置板的空隙相配合，导出板能插入放置板的空隙中；驱动装置设置在机体的内部。本发明用于解决现有技术中硅片在输送过程中会与输送装置发生碰撞容易导致硅片破损无法有效提高硅片加工效率的问题。
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公开(公告)号：CN111244006B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202010232443.9
申请日：2020-03-28
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G47/24
摘要： 本发明公开了一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，涉及硅片生产设备技术领域，包括：基座、支撑座、传送辊、驱动装置、传送带、载片台、滑座、矫正机构、导向轮。通过载片台的触发板推动矫正机构的被动部方式，使直径小于转柱的第一齿轮在转柱上的传动齿下带动旋转(根据机械传动系统中传动比原则，相当于小齿轮的第一齿轮旋转角度会大于相当于大齿轮的转柱旋转角度)，导向轮在与第一齿轮相连的转动部带动下沿硅片弧形端面进行由前向后的弧形方向移动，实现了硅片前后及左右位置的矫正。此外，第二齿轮在转动部的转动下，其沿连接齿进行旋转，从而带动导向轮旋转，使得导向轮与硅片的静摩擦变为动态摩擦，大大降低了导向轮对硅片的磨损伤害。
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公开(公告)号：CN116086169B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211622293.8
申请日：2022-12-16
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
摘要： 本发明涉及硅片烘干机领域，具体公开了一种废料收集组件及硅片烘干机，包括：硅片烘干机主体的侧面设置有破碎箱，破碎箱的顶端的两侧设置有安装块；一号导料板设置于破碎箱的顶端，一号导料板的表面开设有伸缩孔，伸缩孔的内部插接有控制杆；二号导料板设置于破碎箱的顶端；有益效果为：将报废的硅片通入一号导料板与二号导料板之间，通过一号导料板与二号导料板将报废硅片竖直导入两组破碎辊之间，避免了硅片平铺在破碎辊的顶面无法破碎，破碎后的硅片落入集料盒的内部，可以充分利用集料盒内部的空间，减少了更换集料盒的次数，解决了废料收集箱中硅片与硅片相互支撑，浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱的问题。
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公开(公告)号：CN116093009B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211622295.7
申请日：2022-12-16
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及硅片去污机相关技术领域，具体为一种清洗机构，清洗机构包括清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构、二级夹持机构，清洗槽固定在地面上，且清洗槽的后侧面设置有进液口和排液口，进液口和排液口的端口位置处均设置有阀门结构，龙门支架的横梁位于清洗槽的开口正上方；本发明通过设置由清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构和二级夹持机构组合构成的清洗机构，从而通过一级夹持机构和二级夹持机构交替对硅片进行夹持定位，从而避免了单组夹具对硅片进行夹持时，会造成夹具的夹持位置无法实现清理的问题，而两组夹具的交替运行，便可以保证硅片的各个位置可以充分的进行清理。
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公开(公告)号：CN109637958B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN201910051002.6
申请日：2019-01-21
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/68 , H01L21/687 , H01L21/302
摘要： 本发明公开了一种硅片腐蚀工艺固定载具，涉及硅片腐蚀技术领域，包括载具主体、第一固定单元、至少二调整固定件、传导件。第一固定单元具有凹口。调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有延伸件、滑件，延伸件具有一定长度，滑件连接延伸件。传导件具有伸缩口，延伸件位于伸缩口中，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。本发明在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。
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公开(公告)号：CN116276585B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202211596686.6
申请日：2022-12-12
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
摘要： 本发明涉及硅片抛光机相关技术领域，具体为一种定位组件，定位组件包括主支架、载物台、次级支架、滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴、定位件，主支架设置在设置在设备本体上，载物台固定安装在主支架上，其载物台上开设有开口槽；通过设置由主支架、次级支架、滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴和定位件组合构成的定位组件，从而通过滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴和定位件的运动以对待加工硅片的位置进行调整，从而提高对待加工硅片位置调节的便利性，并且由吸附腔和密封垫圈组合构成的定位件可以有效优化定位件的整体结构，其结构原理更简单，并且负压吸附的定位方式可以更好的对待加工硅片进行保护。
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公开(公告)号：CN108010826B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN201810004455.9
申请日：2018-01-03
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
摘要： 本发明公开了一种便于更换保养的P5K‑MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机。本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱进行移动，解除对拆卸环的固定，从而便于对保养本体进行拆卸更换。
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公开(公告)号：CN117096092A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311047516.7
申请日：2023-08-21
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , C23C14/50 , C23C14/35 , H01L21/67
摘要： 本申请公开了一种压环及具有其的真空腔室，涉及半导体制造领域。本申请所述的压环通过在第一压台和第二压台之间设置支撑台，支撑台为压环本体提供配重，可以使得将第一压台的厚度调整为0.5~1.5mm后仍不容易产生位移，减小第一压台覆盖在晶圆上的面积，减少晶圆材料的浪费。同时，本申请通过将支撑台架设在承载装置上，支撑台为压环本体提供支撑力，减少第一压台施加在晶圆上的压力，进而减少晶圆被压碎的风险。
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公开(公告)号：CN109536910B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201910050990.2
申请日：2019-01-21
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置，涉及防下垂技术领域，包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体，连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上，连接体与辅助装置位于相对方向，调整体位于辅助装置内，辅助装置与调整体具有一定间隙，辅助说装置包括复位件，复位件具有导向面，复位件为刚性材料，复位件位于调整体一侧，复位件为弧形。本发明在打开或关闭磁控溅射门过程中，使得调整体刚性接触复位件对磁控溅射门进行复位，达到保证金属腔体的密封性的目的。其中，调整体和复位件接触过程极为短暂，只有在磁控溅射门密封时才进行接触，极大减小了调整体和复位件的摩擦，有利于长时间保证金属腔体密封性。
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公开(公告)号：CN112781345A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110161800.1
申请日：2021-02-05
申请人： 苏州赛森电子科技有限公司
发明人： 伍志军
摘要： 本发明公开了一种硅片用的烘干装置，包括：底架、下横板、硅片装载架、上横板、承载框与搬运机构，下横板设置在底架的上方，并为前后对称设置，下横板上安装有承载架，承载架的前后两边穿过下横板与底架；硅片装载架设置在底架上，硅片装载架中装载有硅片，硅片装载架的中间穿过丝杠，丝杠用于传动硅片装载架移动；上横板设置在下横板的上方，并为前后对称设置，上横板距离下横板有一段间隔；承载框设置在承载架的中间上方，承载框的前后两边连接有支撑板，支撑板的底部连接上横板；搬运机构位于承载框与承载架之间，搬运机构具有夹板，夹板为左右对称设置，用于夹取硅片装载架中的硅片。本发明获得了节约空间、增加烘干硅片数量的优点。
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