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公开(公告)号：CN108313972A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810220141.2
申请日：2018-03-16
申请人： 苏州钽氪电子科技有限公司
发明人： 沈方平
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/0292 , B81C1/00373 , G01N27/14
摘要： 本发明提供一种氢气传感器及其加工方法和用途，属于氢气传感器领域。通过MEMS加工工艺获得的氢气传感器，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有一对延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有位于绝热槽的正上方的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，所述第一贵金属催化层的表面覆盖有一层隔绝空气层，所述第二贵金属催化层开有气孔，所述第一贵金属催化层和所述第二贵金属催化层与一对低温度系数参比电阻串联并组成惠斯通电桥。所述硅基底上方设置有温度温敏电阻。本发明提供的氢气传感器可以同时在催化燃烧和热导两种模式下工作，体积小，功耗低，响应快，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN108275649A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810220145.0
申请日：2018-03-16
申请人： 苏州钽氪电子科技有限公司
发明人： 沈方平
CPC分类号： B81B7/02 , B81B2201/02 , B81B2201/0292 , B81C1/00349
摘要： 本发明提供一种MEMS可燃气体传感器及其加工方法，包括硅基底，硅基底的下表面设有2个绝热槽，上表面设有绝热层，绝热层表面设有对称分布且为多孔结构的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，第一贵金属催化层和第二贵金属催化层分别位于2个绝热槽的正上方，第一贵金属催化层表面设有气体隔绝层，第二贵金属催化层表面开有透气孔，气体隔绝层表面设有一组参比电阻，且与第一贵金属催化层和第二贵金属催化层串联，气体隔绝层边缘设有若干引线窗口。本发明提供的MEMS可燃气体传感器体积小，功耗低，性能稳定，加工方法简单，生产效率高。
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公开(公告)号：CN208103923U
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201820362355.9
申请日：2018-03-16
申请人： 苏州钽氪电子科技有限公司
发明人： 沈方平
摘要： 本实用新型提供一种氢气传感器，属于氢气传感器领域。通过MEMS加工工艺获得的氢气传感器，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有一对延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有位于绝热槽的正上方的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，所述第一贵金属催化层的表面覆盖有一层隔绝空气层，所述第二贵金属催化层开有气孔，所述第一贵金属催化层和所述第二贵金属催化层与一对低温度系数参比电阻串联并组成惠斯通电桥。所述硅基底上方设置有温度温敏电阻。本实用新型提供的氢气传感器可以同时在催化燃烧和热导两种模式下工作，体积小，功耗低，响应快，使用寿命长。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207957757U
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201820362729.7
申请日：2018-03-16
申请人： 苏州钽氪电子科技有限公司
发明人： 沈方平
摘要： 本实用新型提供一种MEMS可燃气体传感器，包括硅基底，硅基底的下表面设有2个绝热槽，上表面设有绝热层，绝热层表面设有对称分布且为多孔结构的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，第一贵金属催化层和第二贵金属催化层分别位于2个绝热槽的正上方，第一贵金属催化层表面设有气体隔绝层，第二贵金属催化层表面开有透气孔，气体隔绝层表面设有一组参比电阻，且与第一贵金属催化层和第二贵金属催化层串联，气体隔绝层边缘设有若干引线窗口。本实用新型提供的MEMS可燃气体传感器体积小，功耗低，性能稳定，加工方法简单，生产效率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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