包括嵌入主IC芯片的金属化层内的小芯片的复合IC芯片

    公开(公告)号:CN112582391A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202010589423.7

    申请日:2020-06-24

    Abstract: 复合IC芯片包括嵌入主IC芯片的金属化级内的小芯片。小芯片可包括器件层和将无源和/或有源器件互连到小芯片电路系统中的一个或多个金属化层。主IC可包括器件层和将无源和/或有源器件互连到主芯片电路系统中的一个或多个金属化层。小芯片金属化层之一的部件可直接接合到主IC金属化层之一的部件,将两个电路系统互连成复合电路系统。可在小芯片上方施加电介质材料。电介质和小芯片可通过平坦化工艺变薄,并且在小芯片和主芯片上方制作附加的金属化层,例如以形成第一级互连接口。复合IC芯片结构可基本上作为单片IC芯片被组装到封装中。

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