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公开(公告)号：CN113776646A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110636907.7
申请日：2021-06-08
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器。组合式微机电结构(MEMS)包括具有一个或多个第一电极的第一压电膜，第一压电膜被固定在第一保持件与第二保持件之间；以及具有惯性质量和一个或多个第二电极的第二压电膜，第二压电膜被固定在第二保持件与第三保持件之间。
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公开(公告)号：CN110411949A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910348504.5
申请日：2019-04-28
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及流体传感器和提供流体传感器的方法。流体传感器包括壳体和布置在壳体中的热发射器，其被配置成在测量间隔期间以第一功率水平将第一热辐射发射到具有测量气体的壳体的检测容积中并且在位于测量间隔之外的中间间隔期间，以降低的第一功率水平发射或不发射第一热辐射；还包括布置在检测容积中的测量元件，其被配置为在测量间隔期间接收基于第一热辐射的辐射信号；还包括布置在壳体中的第二热发射器，其被配置为在中间间隔期间，以第二功率水平将第二热辐射发射到检测容积中，使得在包括测量间隔和中间间隔的连续时间段期间，相对于基于第一功率水平和第二功率水平之和的检测容积中的热辐射的总功率水平，热辐射的热振动最多为±50％。
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公开(公告)号：CN109253838A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810758364.4
申请日：2018-07-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： D·图姆波德
IPC: G01L27/00 , G01D18/00 , G01N21/3504 , G01N21/17
CPC classification number: G01L27/005 , G01L9/0042 , G01L11/02 , G01L19/04 , G01L27/002 , G01D18/00 , G01N21/1702 , G01N21/3504 , G01N2021/1704
Abstract: 一种传感器装置，包括：压力转换器，与具有流体的体积区域处于流体连通，其中，所述压力转换器被构造成响应于所述体积区域中的压力变化而输出压力信号，所述压力信号具有取决于所述压力变化的信号变化曲线；加热元件，所述加热元件被构造成引起位于所述体积区域中的流体的被限定的温度变化，其中，所述流体的温度变化引起所述体积区域中的压力变化；以及处理设备，所述处理设备被构造成基于所述压力信号的信号变化曲线来获取所述压力转换器的当前功能参数，所述信号变化曲线是在由所述加热元件引起的所述体积区域中的温度变化下获得的。
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公开(公告)号：CN108414449A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201711480070.1
申请日：2017-12-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17 , G01N21/01 , G01N21/61 , G01N21/3504
Abstract: 气体分析装置，包括：用于容纳待分析气体的气体腔；辐射源，被设置用于将电磁辐射发射到气体腔中，其中电磁辐射被设置用于选择性地激发待分析气体的分子；以及传感器，被设置用于侦测物理参量，物理参量包含关于由辐射源发射的电磁辐射与容纳在气体腔中的气体的相互作用程度的信息，其中辐射源包括：可电加热的扁平的辐射元件，被设置用于发射电磁辐射；以及壳体，具有扁平的第一和第二壳壁，这些壳壁在它们之间限定并直接邻接不透流体地与辐射源的周边环境分离的辐射元件容纳腔，在辐射元件容纳腔中具有比常压小的气压并且辐射元件的至少一个区段与第一和/或第二壳壁间隔布置，其中第一和/或第二壳壁对于从辐射源可发射的电磁辐射是可透射的。
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公开(公告)号：CN118056778A
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：CN202311545922.6
申请日：2023-11-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及具有应力解耦结构的MEMS器件。提出了一种MEMS器件(100)，该MEMS器件(100)包括具有内膜区段(112)和外膜区段(114)的悬置膜结构(110)。外膜区段(114)围绕内膜区段(112)。膜结构(110)包括在外膜区段(114)中的可弹性形变的弹簧结构(116)，其中弹簧结构(116)被布置为将悬置膜结构(110)中的热致压缩应力转换为弹簧位移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108426837B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201711482386.4
申请日：2017-12-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 一种光声气体分析仪可以包括：气体腔室，被配置为将待分析气体接纳在其中；辐射源，被配置为向所述气体腔室中发射具有时变强度的电磁辐射，从而生成声波，所述电磁辐射被适配为选择性地激发在被接纳在气体腔室中的气体中的浓度待确定的N种相互不同的气体类型的气体分子；声波传感器，被配置为检测由辐射源向待分析气体中发射的电磁辐射生成的声波；以及控制单元，操作地连接到辐射源和声波传感器。控制单元可以被配置为：控制辐射源发射具有时变强度的电磁辐射，并且利用调制信号来调制强度变化的频率，调制信号取至少N个相互不同的值；从声波传感器接收指示由辐射源向待分析气体中发射的电磁辐射生成的检测到的声波的信号；确定与相应的N个相互不同的频率相关联的至少N个相互不同的信号幅度，发射的电磁辐射的强度以相应的N个相互不同的频率变化；并且根据所确定的信号幅度来确定N种相互不同的气体类型的浓度。
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公开(公告)号：CN113138167A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110022990.9
申请日：2021-01-08
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 根据本公开的各实施例涉及具有穿孔膜的微机械设备。本公开涉及一种微机械设备(100)和一种用于制造该微机械设备的方法。微机械设备(100)可以包括悬置在衬底(102)上的膜结构(110)。膜结构(110)可以包括气体可渗透的穿孔膜(120)以及加强结构(140)，该穿孔膜包括多个穿孔(130)，该加强结构与穿孔膜(120)耦合，以用于使穿孔膜(120)变硬和/或用于增加穿孔膜(120)的机械稳定性，以减弱穿孔膜(120)的振动。
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公开(公告)号：CN108008008B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201711012378.3
申请日：2017-10-26
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种光声气体检测器可以包括：气室，被配置为将待分析气体接纳在其中；激励元件，被配置为以时变方式选择性地激励气室中接纳的气体中的待检测的特定类型的气体分子，由此生成压力差；传感器，被配置为检测由激励元件生成的压力差；以及泵，被配置为在光声气体检测器的外部与气室之间泵送气体。
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公开(公告)号：CN107796762B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201710761931.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 提供了一种气体分析仪。气体分析仪可以包括：具有壳体壁的管状壳体，壳体壁沿着管状壳体的轴向方向延伸并且围绕气体腔室，气体腔室被配置为将待分析气体容纳在其中；激发元件，位于管状壳体的第一轴向端部处并且被配置为以时变的方式来选择性地激发被容纳在气体腔室中的气体中的待检测的特定类型的气体分子，从而生成声波；以及传感器，位于管状壳体的第二轴向端部处并且被配置为检测由激发元件生成的声波。
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公开(公告)号：CN108008008A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711012378.3
申请日：2017-10-26
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种光声气体检测器可以包括：气室，被配置为将待分析气体接纳在其中；激励元件，被配置为以时变方式选择性地激励气室中接纳的气体中的待检测的特定类型的气体分子，由此生成压力差；传感器，被配置为检测由激励元件生成的压力差；以及泵，被配置为在光声气体检测器的外部与气室之间泵送气体。
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