公开(公告)号：CN113776646A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110636907.7

申请日：2021-06-08

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： C·布雷特豪尔 ,  P·米什拉 ,  D·诺伊迈尔 ,  D·图姆波德

IPC: G01H11/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/18 ,  H04R17/02

Abstract: 本公开的各实施例涉及组合式波纹状压电麦克风和波纹状压电振动传感器。组合式微机电结构(MEMS)包括具有一个或多个第一电极的第一压电膜，第一压电膜被固定在第一保持件与第二保持件之间；以及具有惯性质量和一个或多个第二电极的第二压电膜，第二压电膜被固定在第二保持件与第三保持件之间。

公开(公告)号：CN115585854A

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN202111005968.X

申请日：2021-08-30

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： C·布雷特豪尔 ,  S·戈斯瓦米 ,  M·F·赫曼 ,  G·洛伦茨 ,  P·米什拉 ,  D·诺伊迈尔 ,  D·图姆波德

IPC: G01F1/34

Abstract: 本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第二电极，第二压电隔膜粘附在第二保持部和第三保持部之间。