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公开(公告)号：CN113753843A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110753958.8
申请日：2021-07-04
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学太仓长三角研究院
IPC分类号： B81B5/00 , G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种高振型稳定性的新型微环形谐振器，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该谐振器由基底层1、器件层2和锚点3构成；所述器件层2由环形谐振子4与包括长梁9、短梁10在内的四组约束梁构成；所述环形谐振子4由4组约束梁分别沿0°、90°、180°、270°方向连接到锚点上，每组梁均沿径线方向与环形谐振子连接；一组约束梁分为轴对称的两支，每支由N支单折叠梁首尾相接构成。本发明使用品质因数和灵敏度较高的圆环作为谐振结构，关键特征在于在其正交方向设置多组约束梁，使谐振器在沿短梁平行方向的刚度远小于其他方向，约束结构沿此方向振动，从而抑制了由加工工艺误差产生的环形质量分布不均所导致的模态振型失稳，显著提高了MEMS环形谐振器模态振型稳定性。
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公开(公告)号：CN113753843B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202110753958.8
申请日：2021-07-04
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学太仓长三角研究院
IPC分类号： B81B5/00 , G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种高振型稳定性的新型微环形谐振器，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该谐振器由基底层1、器件层2和锚点3构成；所述器件层2由环形谐振子4与包括长梁9、短梁10在内的四组约束梁构成；所述环形谐振子4由4组约束梁分别沿0°、90°、180°、270°方向连接到锚点上，每组梁均沿径线方向与环形谐振子连接；一组约束梁分为轴对称的两支，每支由N支单折叠梁首尾相接构成。本发明使用品质因数和灵敏度较高的圆环作为谐振结构，关键特征在于在其正交方向设置多组约束梁，使谐振器在沿短梁平行方向的刚度远小于其他方向，约束结构沿此方向振动，从而抑制了由加工工艺误差产生的环形质量分布不均所导致的模态振型失稳，显著提高了MEMS环形谐振器模态振型稳定性。
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公开(公告)号：CN114441465A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210093681.5
申请日：2022-01-26
申请人： 西北工业大学太仓长三角研究院 , 西北工业大学
摘要： 本发明涉及一种微流控芯片的吸收光度检测系统，在微流控芯片内设置有z型样品通道和两个遮光通道；两个遮光通道均设置有通光口；第一光纤准直器依次通过通光口、所述第二样品管路和通光口后与第二光纤准直器对应设置；激光光源产生激光；第一光纤准直器对激光进行准直，并将准直后的光束通过通光口照射在第二样品管路内的待检测样品上；第二光纤准直器接收经过待检测样品后的透射光；光电二极管将透射光转换为电信号；上位机根据电信号确定并显示吸收光度。本发明还在微流控芯片上集成两个遮光通道形成光学狭缝，避免接收到杂散光，从而影响检测吸收光度的准确性。
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公开(公告)号：CN112067032A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010871880.5
申请日：2020-08-26
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学太仓长三角研究院
IPC分类号： G01D18/00
摘要： 本发明涉及一种提升MEMS传感器环境适应性的智能自校准控制方法，属于微机电系统领域。该方法由两级期望最大化方法组成，在第一级期望最大化方法中，基于小带宽的滤波器识别环境中具有短时间持续且强度剧烈的外部扰动，估计出相应偏差；在第二级期望最大化方法中，将缓慢变化的内部扰动与真值耦合到传感器确定的偏差上，选取大带宽的滤波器以匹配内部扰动的特性，然后分别识别和估计相应的扰动参数和真值。本发明通过一种可变期望最大化方法，基于扰动参数的不同特性改变平滑带宽，逐级进行状态估计与扰动辨识的同步迭代优化处理，抑制环境扰动对MEMS传感器产生的偏差，有效提升MEMS传感器的环境特性。
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公开(公告)号：CN114441465B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202210093681.5
申请日：2022-01-26
申请人： 西北工业大学太仓长三角研究院 , 西北工业大学
摘要： 本发明涉及一种微流控芯片的吸收光度检测系统，在微流控芯片内设置有z型样品通道和两个遮光通道；两个遮光通道均设置有通光口；第一光纤准直器依次通过通光口、所述第二样品管路和通光口后与第二光纤准直器对应设置；激光光源产生激光；第一光纤准直器对激光进行准直，并将准直后的光束通过通光口照射在第二样品管路内的待检测样品上；第二光纤准直器接收经过待检测样品后的透射光；光电二极管将透射光转换为电信号；上位机根据电信号确定并显示吸收光度。本发明还在微流控芯片上集成两个遮光通道形成光学狭缝，避免接收到杂散光，从而影响检测吸收光度的准确性。
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公开(公告)号：CN112067032B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202010871880.5
申请日：2020-08-26
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学太仓长三角研究院
IPC分类号： G01D18/00
摘要： 本发明涉及一种提升MEMS传感器环境适应性的智能自校准控制方法，属于微机电系统领域。该方法由两级期望最大化方法组成，在第一级期望最大化方法中，基于小带宽的滤波器识别环境中具有短时间持续且强度剧烈的外部扰动，估计出相应偏差；在第二级期望最大化方法中，将缓慢变化的内部扰动与真值耦合到传感器确定的偏差上，选取大带宽的滤波器以匹配内部扰动的特性，然后分别识别和估计相应的扰动参数和真值。本发明通过一种可变期望最大化方法，基于扰动参数的不同特性改变平滑带宽，逐级进行状态估计与扰动辨识的同步迭代优化处理，抑制环境扰动对MEMS传感器产生的偏差，有效提升MEMS传感器的环境特性。
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公开(公告)号：CN109818521A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910060982.6
申请日：2019-01-23
申请人： 西北工业大学深圳研究院 , 西北工业大学
IPC分类号： H02N1/08
摘要： 本发明涉及一种蜂窝式驻极体/静电能量采集器，包括敏感电极、导电电极和驻极体薄膜；敏感电极和导电电极为波浪状结构，驻极体薄膜位于敏感电极和导电电极之间构成单层波浪状结构；多个单层波浪状结构通过层间错位的叠加方式而形成三维多层蜂窝式结构；所述层间错位为波峰相对，波谷远离；当三维蜂窝结构受到外部按压信号时，两电极受压导致电极间电压的变化，将机械能转换为电能。本发明具有结构简单、体积小、重量轻，耐用持久，发电效率高等优点，且具有微小的位移时就能产生极大的输出电压和输出性能，可以广泛用于采集低频微弱的振动信号。
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公开(公告)号：CN115736930A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211436894.X
申请日：2022-11-16
申请人： 西北工业大学上海闵行协同创新中心 , 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于微褶皱与微孔复合界面的软性神经电极及其制备方法，由软性基底层、柔性衬底层、导电金属层、柔性封装层和改性镀层组成，柔性封装层开孔所暴露出来的微电极点，是由微褶皱结构和微孔结构所构成的复合界面。其制备方法包括：1、软性硅酮材料混合硅油旋涂并固化，随即浸泡有机溶剂完成硅油萃取，形成软性基底层；2、表面沉积一层聚合物薄膜作为柔性衬底层，自动形成微褶皱结构；3、利用激光切割工艺在柔性衬底层表面微孔结构；4、利用沉积、光刻、刻蚀工艺依次形成导电金属层和柔性封装层；5、利用电化学工作站完成微电极点改性镀层的沉积。本发明可以有效提升改性镀层材料在微电极点表面的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN107607098B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201710964977.9
申请日：2017-10-17
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC分类号： G01C19/04
摘要： 本发明涉及了一种MEMS旋转调制陀螺芯片制备方法，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该制备过程利用微纳米加工方法将MEMS陀螺和旋转调制平台进行一体化加工，避免了原有旋转调制陀螺体积大、笨重、装配复杂等缺点，该制备方法获得MEMS旋转调制陀螺体积仅为几个立方毫米，具有体积小，免装配以及批量化制造等特点。
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公开(公告)号：CN107607098A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710964977.9
申请日：2017-10-17
申请人： 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
IPC分类号： G01C19/04
摘要： 本发明涉及了一种MEMS旋转调制陀螺芯片制备方法，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该制备过程利用微纳米加工方法将MEMS陀螺和旋转调制平台进行一体化加工，避免了原有旋转调制陀螺体积大、笨重、装配复杂等缺点，该制备方法获得MEMS旋转调制陀螺体积仅为几个立方毫米，具有体积小，免装配以及批量化制造等特点。
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