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公开(公告)号：CN119390003A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411469919.5
申请日：2024-10-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种非接触式压力传感器芯片无引线封装结构及制备方法，属于MEMS传感器技术领域。封装主体包括需要保护的压力传感器芯片，以及起密封、表面电路保护及连接作用的碳化硅密封板及过渡板，并通过导电浆料烧结可伐合金插针提供机械支撑，确保悬空连接及电学连接。封装主体上方与碳化硅顶板、下方与碳化硅底板均留有距离。非接触式无引线封装提高了碳化硅压力传感器的耐高温性能，有利于测量过程中的热应力释放，具有材料热适配性高、测量精度高、测量稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN114136853B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202111417613.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种检测空气中活泼金属氧化物浓度的传感器和方法，所述传感器包括依次连通的第一反应室、第一检测室、第二反应室和第二检测室，所述第一反应室上设置有进气口，所述第一反应室中设置有一氧化碳热催化氧化剂，所述第一检测室中设置有第一二氧化碳敏感薄膜，所述第二反应室中设置有吸水层，所述第二检测室中设置有第二二氧化碳敏感薄膜。利用活泼金属氧化物颗粒在水蒸气环境下易与二氧化碳发生反应，通过检测反应前后二氧化碳浓度差间接反应出活泼金属氧化物颗粒的浓度。
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公开(公告)号：CN116300053A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310281000.2
申请日：2023-03-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种反向角度垂直梳齿微镜驱动结构、驱动微镜及其制备方法，反向角度垂直梳齿微镜驱动结构包括主体和盖合在主体上的盖板；盖板包括盖板基底，盖板基底下表面固定有错位激活凸台和倾角激活凸台；主体包括定子锚、定梳齿、动梳齿和主体基底，定梳齿延伸自定子锚，定子锚通过蛇形梁与主体基底连接；动梳齿与定梳齿互相交错，与定梳齿构成反向角度垂直梳齿微镜驱动结构；当盖板和主体组装时，错位激活凸台下压与定梳齿连接的部件，使定梳齿和动梳齿产生垂直高度差；定子锚被倾角激活凸台下压，使定梳齿翘起。其相较于AVC结构定梳齿与动梳齿重叠面积更大，能提供更大的吸引力，且微镜转动角度越大，优势越明显。
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公开(公告)号：CN113465791B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110673446.0
申请日：2021-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括碳化硅谐振器，碳化硅谐振器与压力敏感膜通过锚点相连，碳化硅谐振器包括支撑梁，支撑梁通过柔性梁与外部框架连接，支撑梁与固定电极连接并固定在锚点处，质量块结构通过谐振梁与支撑梁连接，耦合梁通过三角梁与质量块结构连接，耦合梁与可动电极连接，质量块结构与另一可动电极连接，固定电极与可动电极均为梳齿电极，并构成两对梳齿电极对，耦合梁上设置有拾振电阻，并连接有金属电极引线，通过三角梁的设计增大了耦合梁应力集中区域，配合拾振电阻的布置，提升了压力传感器的检测精度，基于第三代半导体材料碳化硅的优良特性，同时获得了高温环境下工作的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN114199306A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111482103.2
申请日：2021-12-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种测量热流密度以及压力的复合式薄膜传感器及制备方法，包括电容式薄膜压力传感部分和热流密度传感部分；电容式薄膜压力传感部分包括掺杂硅基底，掺杂硅基底下方自上至下依次设置有介质绝缘层、多晶硅层和压感基底，压感基底与掺杂硅基底之间具有真空密封腔，压感基底上设置有电容下极板，电容下极板位于真空密封腔中，真空密封腔正上方的掺杂硅基底为电容上极板；热流密度传感部分包括热电堆层基底、热电堆层和热阻层；热电阻层包括热电阻冷端和热电阻层热端，热电堆层包括依次连接且间隔设置的第一热电偶和第二热电偶。采用铜和康铜作为热电偶电极材料，材料易得，生产成本低，适合于大规模工业生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113391101A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110449645.3
申请日：2021-04-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种壳核微探针及其制备方法，包括探针核，所述探针核包括自上至下依次同轴连接的安装部、主体和针尖，所述安装部和主体外包覆有探针壳，所述探针壳具有导电性。探针核的主要作用是保证探针强度、耐磨性等机械特性满足测试要求，探针壳主要作用是改善探针导电性能，满足高导电性的测试要求，不同部分材料不同，结合两部分材料各自的优点可以将探针尺寸做得很小。
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公开(公告)号：CN119059489A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411202983.7
申请日：2024-08-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种全碳化硅加速度压力复合传感器芯片及其制备方法，属于MEMS传感器技术领域。传感器芯片主要包括垂直集成的加速度传感器芯片、压力传感器芯片，以及图形化的顶板、隔板及底板。加速度传感器芯片包括八梁‑五质量块结构，受到外部冲击后，中心质量块和外围质量块均会发生变形，中心质量块引起第一支撑梁变形，同时外围质量块引起第二支撑梁的变形作用也叠加在第一支撑梁上；压力传感器芯片包括弧形十字梁‑四圆膜结构，感受外部压力后，相邻的两个圆形的压力敏感膜片同时变形，设置在相邻敏感膜片中间梁上的压阻条获得更大的阻值变化。实现了高温环境下加速度和压力的测量，具有耐高温、灵敏度高、量程大、稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN117804544A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410049347.9
申请日：2024-01-12
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种柔性应变‑应力双参量传感器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：首先在聚四氟乙烯模具内通过浇铸制备聚乙烯醇牺牲层，随后在其上浇铸CNT/GNP敏感层；配置不同比例PDMS预聚物与固化剂混合溶液，通过浇铸的方式先后制备第二应力过渡层、第一应力过渡层和基底层；通过热水浸泡的方式去除牺牲层后，将电极和导线组装到敏感层上，获得柔性应变‑应力双参量传感器，所制备的传感器可单独作为应变或应力传感器使用，也可以同时检测应变和应力信息。
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公开(公告)号：CN114252838A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111595372.X
申请日：2021-12-23
Applicant: 西安交通大学 , 渭南高新区木王科技有限公司
IPC: G01R35/02
Abstract: 本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法，测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对探针载流能力、疲劳寿命、工作超程下接触力大小、能否与焊盘进行有效电接触四项性能测试，并可实现对多根探针同时测试。所诉测试平台及测试方法具有成本低、操作简单、测试结果可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN114043957A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111436738.9
申请日：2021-11-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: B60R21/0136
Abstract: 本发明公开了一种基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统，所述传感装置包括底座、柔性压电薄膜传感器和惯性球悬臂梁，所述柔性压电薄膜传感器下端固定在底座上；所述惯性球悬臂梁设置在柔性压电薄膜传感器内侧本传感器仅仅用来检测汽车在撞击时候来自于各个方向的加速度的大小，由处理器判断是否达到起爆阈值，以及何时起爆安全气囊。解决汽车遭受撞击时候由多个传感器分别检测各单一方向加速度的问题。
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