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公开(公告)号：CN113465540A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110770501.8
申请日：2021-07-07
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种针孔点衍射干涉测量系统用孔板相移解相位方法，将线偏振激光转变为圆偏振激光，再扩束变为平行光，将平行光汇聚到针孔衍射板上衍射分为检测波和参考波；检测波通过被测非球面镜反射至针孔衍射板，由针孔衍射板再次反射并与参考波干涉，控制针孔衍射板在ZX平面沿被测非球面镜的光轴方向移动相应步长，检测波和参考波发生干涉，获得对应步长的干涉图像，采集干涉图像，根据所采集的干涉图像信息获得相位。本发明避免了被测镜口径受到压电纳米平台负载能力限制，提高了被测镜可测量的口径范围。
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公开(公告)号：CN118031828A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410262764.1
申请日：2024-03-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多波长点衍射干涉的环形子孔径划分及拼接方法，将多波长点衍射、拍频定理与环形子孔径拼接相结合，通过改变波长以扩大测量范围，减少子孔径划分时的环带数目，实现对高次非球面元件的测量，通过波长拍频组合技术改变点衍射的光源，得到最佳的合成波长，减少测量高次及大偏离非球面时所需的子孔径环带数目，继而顺利进行拼接以得到待测镜整体面形信息。
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公开(公告)号：CN113706464B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202110832939.4
申请日：2021-07-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/136 , G06T7/194 , G06T7/30 , G06T5/00 , G06T3/40 , G06N3/0464 , G06N3/088 , G06V10/46 , G06V10/25 , G06V10/82
Abstract: 本发明公开了一种印刷品外观质量检测方法及系统，收集良品印刷图像和未知印刷图像共同构成原始训练集与测试集，从原始训练集中选取一张图像进行分割用于创建形状模板，然后将原始训练集与测试集中的完整图像通过模板匹配方法结合图像仿射变换实现自动分割，采用分割得到的子图像构建处理后的训练集与测试集；采用基于随机插值与高斯平滑的图像扭曲方法作为训练集的数据增强手段，对处理后的训练集中的图像进行数据增强；利用数据增强后的训练集图像对Unet型卷积神经网络进行训练；将测试集图像输入训练后的Unet型卷积神经网络，输出印刷品外观检测结果。具有更高的检测准确率，能更有效地保障企业印刷产品整体外观质量。
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公开(公告)号：CN115183697B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210841640.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉光强信息的相位提取方法及系统，采集两帧相差为#imgabs0#的非球面干涉图，并用从球面镜干涉图中计算出的背景光强和调制度代替待测元件的背景光强和调制度，基于干涉公式对非球面干涉图进行相位提取；对相位信息进行相位解包，并用Zernike多项式对波面进行拟合以消除调整误差，最后求解待测面形信息。本发明是以干涉场的光强分布和干涉图中像素点的灰度信息为基础，通过计算光强，只需采集两帧干涉图即可完成对非球面元件的面形检测，结构简单，相较于传统的多步移相法，有效减少了移相次数，避免了误差累积，检测效率更高，适用于大批量的非球面元件检测。
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公开(公告)号：CN114688963B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202210283332.X
申请日：2022-03-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种多波长点衍射干涉仪用光路合束质量检测校准方法及系统，用彩色CCD采集各个通道的光斑，计算光斑的轮廓、质心等参数，分析合束光的合束效果、空间传播状态及误差来源，将其误差作为反馈信号控制相关驱动元件，构成闭环的反馈控制系统，精确调整多波长光路。本发明结构简单，功能全面，可对合束光的空间传播状态、光强及分布、光路的焦点和倾斜状态进行检测与校准，适用于多波长干涉测量领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113465540B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110770501.8
申请日：2021-07-07
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种针孔点衍射干涉测量系统用孔板相移解相位方法，将线偏振激光转变为圆偏振激光，再扩束变为平行光，将平行光汇聚到针孔衍射板上衍射分为检测波和参考波；检测波通过被测非球面镜反射至针孔衍射板，由针孔衍射板再次反射并与参考波干涉，控制针孔衍射板在ZX平面沿被测非球面镜的光轴方向移动相应步长，检测波和参考波发生干涉，获得对应步长的干涉图像，采集干涉图像，根据所采集的干涉图像信息获得相位。本发明避免了被测镜口径受到压电纳米平台负载能力限制，提高了被测镜可测量的口径范围。
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公开(公告)号：CN115183697A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210841640.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉光强信息的相位提取方法及系统，采集两帧相差为的非球面干涉图，并用从球面镜干涉图中计算出的背景光强和调制度代替待测元件的背景光强和调制度，基于干涉公式对非球面干涉图进行相位提取；对相位信息进行相位解包，并用Zernike多项式对波面进行拟合以消除调整误差，最后求解待测面形信息。本发明是以干涉场的光强分布和干涉图中像素点的灰度信息为基础，通过计算光强，只需采集两帧干涉图即可完成对非球面元件的面形检测，结构简单，相较于传统的多步移相法，有效减少了移相次数，避免了误差累积，检测效率更高，适用于大批量的非球面元件检测。
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公开(公告)号：CN115049597B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202210602702.1
申请日：2022-05-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/155 , G06T7/187 , G06T7/194 , G06T7/13 , G06T7/136 , G06T7/62 , G06T5/70 , G06T5/77 , G06T5/60 , G06N3/0464 , G06N3/0455 , G06N3/084 , G06N3/0895
Abstract: 本发明公开了一种基于稀疏补全网络的图像异常检测方法及系统，利用稀疏张量与稀疏卷积构建一种非对称式的自编码图像修复网络；训练环节，网络仅在正常图像样本上以自监督的方式训练图像补全任务；测试环节，通过衡量图像补全的精度来实现图像级别的异常检测与像素级别的异常定位；本发明利用稀疏张量与稀疏卷积，在编码阶段仅对有效像素提取特征；在解码阶段仅将内容解码在覆盖掩膜区域；由此构建的非对称式自编码器大大降低了模型的硬件计算与储存开销；此外，针对形状异常检测，本发明采用稀疏卷积与边缘图像设计了边缘补全网络，更进一步地提升了模型在特定场景下的检测效率。
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公开(公告)号：CN118031844A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410262765.6
申请日：2024-03-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法，首先通过干涉仪衍射产生的高精度波前对非球面镜进行相对测量；其次再多波长光源的基础上利用拍频原理产生大范围的等效波长，使精密测量可以更加灵活并适应不同场景，如大偏离或高分辨率测量需求；再次，提出机器视觉对准技术来校准光路，减小衍射光对准误差，提高波前与干涉图质量；最后通过使用随机两步相位提取技术，以高精度和高效率提取面形误差图。本发明可用于球面、非球面光学元件的面形测量，集成了机器视觉光路校准功能及随机2补相位提取方法，较传统干涉仪具有精度高、效率高、测量范围大、鲁棒性强等优势。
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公开(公告)号：CN116907380A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310877380.6
申请日：2023-07-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015 , G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于图像信息的点衍射干涉仪被测镜精确对准方法及系统，移动被测镜，实现对反射镜的对焦；确定点衍射源出射端处所占区域光强平均值Im和被测镜反射光斑所占b个像素平均光强值Im’；确定被测镜光点需要增强的光强量，使光强提升后的Im’≥Im；计算增强后被测镜反射光斑与点衍射源出射端质心距离dx和dy，得到电机驱动控制系统发送脉冲数与距离的关系Nx和Ny；根据Nx和Ny驱动步进电机运行；根据采集的图像计算被测镜测试光汇聚光斑与点衍射源出射端距离，重合时完成对准。基于获取的图像信息，实现了可视化条件下的被被测镜反射光斑与点衍射源出射端的精确对准，减小了两者对不准而引入的平移、倾斜和离焦误差。
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