一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法

    公开(公告)号:CN108890138A

    公开(公告)日:2018-11-27

    申请号:CN201810785012.8

    申请日:2018-07-17

    Abstract: 一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法,先将SiC陶瓷基复合材料加工样片固定在激光加工设备上,激光加工设备包括光路系统和加工平台,光路系统包括飞秒激光器,飞秒激光器的激光经过反射镜、扩束镜、光阑、振镜及场镜组件后作用于加工平台上;加工平台包括相对于工作台在x、y和z轴方向的三维运动机构以及夹具,在三维运动机构中安装角位移台,通过调节角位移台能够改变y轴方向与工作台法线夹角大小,以获得大的激光入射角;通过计算机分别控制飞秒激光器的激光参数、振镜的振镜图形扫描及三维运动机构的移动对加工样片进行抛光;本发明利用激光与加工平台协同作业,根据需要调节横向纵向的光斑重叠率,保证加工的均匀性,加工效率高。

    一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法

    公开(公告)号:CN115570271A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202211174965.3

    申请日:2022-09-26

    Abstract: 一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法,先将碳化硅陶瓷清洗干净,然后搭建光路,高重频飞秒激光器输出激光经过1/2波片、分光棱镜、第一反射镜、扩束器、小孔光澜、第二反射镜和振镜作用在三维移动平台的加工工位上,通过调节振动旋转器获得大的激光入射角,将碳化硅陶瓷固定在三维移动平台的加工工位上,通过调节三维移动平台将倾斜激光束聚焦到材料表面,利用计算机调节激光器输出不同的激光参数,通过计算机控制振镜的扫描速度和三维移动平台不同的移动方向对碳化硅陶瓷样品进行抛光;本发明采用高重频高功率低速度和低重频低功率高速度对碳化硅陶瓷表面进行多次抛光,抛光后陶瓷表面具有表面光滑度高、无裂纹、无孔洞的优点。

    一种基于超声振动辅助飞秒激光加工C/SiC复合材料的方法

    公开(公告)号:CN115365639A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211176127.X

    申请日:2022-09-26

    Abstract: 一种基于超声辅助高重频飞秒激光加工C/SiC复合材料的方法,先搭建飞秒激光加工光路系统,光路包括高重频飞秒激光器,高重频飞秒激光器输出激光依次经过分1/2波片、分光棱镜、扩束器等进入振镜垂直照射在超声振动装置的加工工位上,超声振动装置的振幅由超声发生器控制,超声振动装置的位置由三维移动平台控制,利用计算机控制振镜进而控制高重频飞秒激光器、振镜、三维移动平台的加工过程中的功率、运动轨迹速度和激光焦点与材料表面的离焦量;本发明超声波振动空化效应和近场对流增强作用有利于减少粒子屏蔽、更好地冷却烧蚀的颗粒和碎屑,降低它们与材料表面结合的趋势,减少表面氧化,提高加工表面质量和去除深度;获得的C/SiC复合材料表面光滑平整。

    一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法

    公开(公告)号:CN108890138B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201810785012.8

    申请日:2018-07-17

    Abstract: 一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法,先将SiC陶瓷基复合材料加工样片固定在激光加工设备上,激光加工设备包括光路系统和加工平台,光路系统包括飞秒激光器,飞秒激光器的激光经过反射镜、扩束镜、光阑、振镜及场镜组件后作用于加工平台上;加工平台包括相对于工作台在x、y和z轴方向的三维运动机构以及夹具,在三维运动机构中安装角位移台,通过调节角位移台能够改变y轴方向与工作台法线夹角大小,以获得大的激光入射角;通过计算机分别控制飞秒激光器的激光参数、振镜的振镜图形扫描及三维运动机构的移动对加工样片进行抛光;本发明利用激光与加工平台协同作业,根据需要调节横向纵向的光斑重叠率,保证加工的均匀性,加工效率高。

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